為了實驗室的需要，我們簡單地製作一軸流、輻向放電、內鏡式、連續波輸出、單模
的二氧化碳雷射。本雷射共振腔長一三九五公厘，輸出面鏡反射率六六％。經測試結
果，其最大輸出功率三四瓦，效率達一四％，輸出橫模約為圓形基模。
在雷射蒸鍍應用上，首先我綜合學者的經驗，再來探討雷射光與物質的交互作用、雷
射蒸發物質的情形及利用此法鍍膜的性質和特性。在蒸鍍設備上，我們裝設了真空系
統，雷射用脈衝式釹雅克雷射，輸出能量三焦耳，脈衝寬度約三百微秒。聚焦在靶上
的功率密度約為二萬瓦每平方公分。
在實驗上，我鍍了一些高熔點金屬和介電質的薄膜。分析的結果顯示，蒸鍍率平均每
脈衝在二到二五A 之間；有一些薄膜具多結晶性；薄膜的表面形態有部份薄膜不平，
薄膜的原子分佈則相當均勻；薄膜的組成分析指出薄膜有些來自真空幫浦油的污染。
|