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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:張文清
研究生(外文):ZHANG, WEN-GING
論文名稱:平面式多模態電光開關之研製
論文名稱(外文):A study of planar multimode electro-optic switches
指導教授:王維新王維新引用關係
指導教授(外文):WANG, WEN-XIN
學位類別:碩士
校院名稱:國立臺灣大學
系所名稱:電機工程研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1987
畢業學年度:75
語文別:中文
中文關鍵詞:多模態電光開關電光開關晶片研磨光波導電光開關製作
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本文之目的在於研製一平面式多模態電光開關。我們選用電光效應較佳的鈮酸鋰晶片
為基板,再以光照相製版和電子束真空蒸鍍法將設計好的鈦圖案轉換到基板上,然後
送人高溫爐,使鈦擴散入基板中以形成光波導,最後在波導相交區上蒸鍍一對平行鋁
電極,以便加偏壓改變折射率;若使之滿足全反射條件,即可達成光之切換作用。
製作此元件之技術將在本文中作詳細探討,這些製程包括基板清洗、光照相製版、鈦
鈦擴散、電極製作以及波導邊緣之研磨技術等。至於此元件之工作機構及效率,也將
作理論性的探討。
值得一提的是為了讓雷射光直接耦合入光波導,其邊緣必須無缺陷,因此我們研製一
套高品質的晶片研磨技術。最後在電子顯微鏡下觀察晶片研磨後之結果,發現效果甚
佳,足以使光波有效地耦合入光波導中。

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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