本文之目的在於研製一平面式多模態電光開關。我們選用電光效應較佳的鈮酸鋰晶片 為基板,再以光照相製版和電子束真空蒸鍍法將設計好的鈦圖案轉換到基板上,然後 送人高溫爐,使鈦擴散入基板中以形成光波導,最後在波導相交區上蒸鍍一對平行鋁 電極,以便加偏壓改變折射率;若使之滿足全反射條件,即可達成光之切換作用。 製作此元件之技術將在本文中作詳細探討,這些製程包括基板清洗、光照相製版、鈦 鈦擴散、電極製作以及波導邊緣之研磨技術等。至於此元件之工作機構及效率,也將 作理論性的探討。 值得一提的是為了讓雷射光直接耦合入光波導,其邊緣必須無缺陷,因此我們研製一 套高品質的晶片研磨技術。最後在電子顯微鏡下觀察晶片研磨後之結果,發現效果甚 佳,足以使光波有效地耦合入光波導中。
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