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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:陳良豐
研究生(外文):CHEN, LIANG-FENG
論文名稱:接觸式軟X光顯微的研究
指導教授:詹國禎詹國禎引用關係
指導教授(外文):ZHAN, GUO-ZHEN
學位類別:碩士
校院名稱:國立臺灣大學
系所名稱:電機工程研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1987
畢業學年度:75
語文別:中文
中文關鍵詞:軟光顥微術光阻解像力顯影溫度電源供應系統真空系統冷卻系統曝光系統
外文關鍵詞:X 光產生器SOFT-X-RAY-MICROSWPYPMMA-RESIOLUTIONVALUME-SYSTEMCOOLING-SYSTEM
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對於生物標本之微觀結構的研究及工業半邊體次微米尤件的製作,軟X光顯微術(So-
ft X-Ray Microscopy )是一個有用且有展望的工具。鑑於這已是時代所趨,而台灣
尚未對此有深入探討,因此我們設計及製作一套接觸式軟X 光顯微系統,這包括:定
靶式X 光產生器、電源供應系統、真空系統、冷卻系統及曝光系統等。
利用電子顯微鏡所用的試樣支持網(Specimen Suport qrid)來測試系統性能,用此
系統來觀察蚊子翅膀及海膽牙齒等生物標本的細微結構,並研究曝光時間及顯影溫度
對光阻(PMMA)的影響,以便進一步探討光阻的解像力(resolution)對顯影溫度的
關係。實驗結果顯示,此套系統性能很好,生物影像非常清晰,熱及反射電子(或二
次電子)影響光阻至鉅,降低顯影溫度有助提高解像力。

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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