對於生物標本之微觀結構的研究及工業半邊體次微米尤件的製作,軟X光顯微術(So- ft X-Ray Microscopy )是一個有用且有展望的工具。鑑於這已是時代所趨,而台灣 尚未對此有深入探討,因此我們設計及製作一套接觸式軟X 光顯微系統,這包括:定 靶式X 光產生器、電源供應系統、真空系統、冷卻系統及曝光系統等。 利用電子顯微鏡所用的試樣支持網(Specimen Suport qrid)來測試系統性能,用此 系統來觀察蚊子翅膀及海膽牙齒等生物標本的細微結構,並研究曝光時間及顯影溫度 對光阻(PMMA)的影響,以便進一步探討光阻的解像力(resolution)對顯影溫度的 關係。實驗結果顯示,此套系統性能很好,生物影像非常清晰,熱及反射電子(或二 次電子)影響光阻至鉅,降低顯影溫度有助提高解像力。
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