AlxGa(1-x)Sb半導體其能隙隨x值不同而從0.7eV改變至1.4eV,此種材料在光 電元件上之應用有極大的潛力。 本文討論以液相磊晶(LPE )技術中的超冷降溫法於銻化鎵基片上成長三種不同組成 的AlxGa(1-x)Sb,利用SEM (Scanning Electron Mircoscopy),EDAX(Energy Dis persion Analysis X-ray),測量磊晶層的特性並得到成長過程的最佳溫度曲線。X =0.12的樣品表面經1:1的鹽酸和甲醇處理得可得如鏡面般的平坦,從剖面的 SEM 相片中得知鋁之莫耳分率愈高時成長速率愈慢。經XPS(X-ray Photolectron Sp ectroscopy)的測量結果指出磊晶的表面是以氧化狀態存在。由PL(Photoluminesce nce) 的測試得知在不同組成下能隙的大小分別為X=0.06時Eg =0.85eV ,X=1.124,Eg =0.908eV;X=0.128,Eg =0.912eV; X=0.242,Eg =1.031eV,銻化鎵的Eg =0.8eV。
|