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研究生:耿繼業
研究生(外文):GEN, JI-YE
論文名稱:表面粗糙度對薄膜散射的影響
指導教授:李正中李正中引用關係
指導教授(外文):LI, ZHENG-ZHONG
學位類別:碩士
校院名稱:國立中央大學
系所名稱:光電(科學)研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1988
畢業學年度:76
語文別:中文
論文頁數:65
中文關鍵詞:多層膜堆表面粗糙度薄膜散射角散射曲線相關函數
外文關鍵詞:MULTI-LAYER-STACKSURFACE-ROUGHNESSANGULAR-RESOLVED-SCATTERINGCORRELATION-FUNCTION
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本文的理論是用來計算具有不同粗糙(Roughness) 界面之多層膜堆(Multi-layer
Stack) a的角散射曲線。應用一階的向量微擾理論(First-order Vector Perurb
ation Theory)可導出與散射角有關的角散射曲線(Angular Resolved Scattering
,簡稱為ARS),ARS可以簡單的表示成光學因子(Optical Factor)和表面因子(
Surface Factor)的乘積。其中光學因子為理想膜堆入射狀況、觀察條件及蒸鍍條件
的函數,與表面粗糙度無關;而表面因子為界面之相關函數(Correlation Function
)的傅立葉轉換值(Fourier Transform) ,主要是表面粗糙度和相關長度(Correl
ation Length)的函數,以各個界面的相關程度,可分成完全相(Fully Correlated
)、完全不相關(Fully Uncorrelated)及部份相關(Partially Correlated)三種
模式來描述。
以ARS 的理論作進一步的計算可知,藉著各種不同的多層膜設計以調整散射波的相位
,並且調整各膜層間粗糙高度比值以改變電場振幅,可以減少散射量,甚至可達到完
全抗散射的效果。對單層膜而言,特別值得重視的是鍍四分之一波長( /4)的低
折射率膜,因為若將膜層設計成具有抗反射的效應,理論及實驗顯示此膜層也可能具
有抗散射的效應。此外本文也推導出多層膜的抗散條件,並寫成程式以供做抗散射膜
層設計之使用。

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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