ICP-AES 是現代分析儀器中極為重要的一種，它具有快速、靈敏、多元素測定甚小基
質效應的特點。然而一般商業化的ICP-AES 儀器，由於係以霧化器（Nebulizer ）做
為樣品導入的工具，其氣化 效率低，以致使有效被傳送到電漿激發源的樣品僅約為
原來樣品的１％程度，因此大幅降低ICP-AES 應有的靈敏度。
為提昇ICP-AES 的靈敏度，本研究以ICP-AES 樣品導入效率的改進為重點作系列的探
討。建立電漿原子發射光譜儀與電熱化裝置的連接技術（ETV-ICP／AES），使樣品經
電熱裝置氣化後，直接導入ICP-AES 作光譜測定。本研究中曾將實驗室中現有的碳爐
式電熱氣化裝置與同時式及連續式兩種ICP-AES 分別進行組合，並對兩套組合儀器系
統的最佳操成條件及可能造成分析誤差的因素作詳盡的探討。在所建立的分析條件下
，實驗所得各元素的偵測極限可較一般經由噴霧步驟測得者降低１至２階，均可低達
Sub-ng的程度，大致已能符合環境及材料樣品超微量元素分析的目標。
本研究並以所建立的系統實際應用於矽半導體、水及米樣品中微量元素的分析。樣品
分析時所建立的基質效應以標準添加法做校正，或以化學分離法將基質分離後再做測
定。分析結果的可靠性均藉由NBS 標準參考樣品作確認，由測定值與確認值相互一致
的事實，證實本分析技術確具有實際應用的可行性。
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