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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:許正貴
研究生(外文):XU, ZHENG-GUI
論文名稱:自動對準鈦矽化合物之技術在超大型積體電路上之應用
指導教授:張俊彥
指導教授(外文):ZHANG, JUN-YAN
學位類別:碩士
校院名稱:國立成功大學
系所名稱:電機工程研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1989
畢業學年度:77
語文別:中文
論文頁數:60
中文關鍵詞:自動對準鈦矽化合物超大型積體電路寄生電阻退火蝕刻元件特性
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