氧化鋅變阻器的非歐姆特性 (non-Ohmic characteristics)是由於各種不同氧化物 添加劑(例如:BiO、SbO、CaO、CoO、MnO.... 等)所造成。本實 驗研究目的,主要是針對氧化物添加劑量、燒結溫度、冷卻速率以及玻璃的添加等變 數,探討其對氧化鋅變阻器電性及顯微結構的影響。 本實驗中,以(100-x)ZnO+x/7(BiO+2SbO+2CoO+CrO+MnO) 之成份設計為 主體,X分別取3.5mol%、7mol% 。繞結溫度範圍訂在1050℃∼1300℃、 2小時。次卻速率控制15℃/min、20℃/min以及30℃/min降溫。添加玻璃成份 選擇PbO-SiO-BO-ZnO,添加比例為1wt%。 經由電流對時間變化的退化實驗結果顯示,添加上述成份玻璃,可使ZnO 變阻器晶粒 間的絕綠層能障升高,因而下降prebreakdown區的漏電流。同時,由於玻璃中的B 離子溶入ZnO晶粒,降低了間隙型鋅離子(zinc interstitials) 的含量,因而改善 變阻器的退化特性,增加其穩定度。 從電流-電壓曲線(I-V curve) 的量測,我們發現:隨著冷卻速率的增加,漏電流 隨之增加,非歐姆係數(α=d(logI)/d(logV))減少。而隨燒結溫 度的增高,漏電流也會增大,但非歐姆係數則會在適當溫度下達到最大值。 最後,利用電容一電壓曲線(C-V curve) 的量測與分析,計算出不同條件下的氧化 鋅變阻器,其donor濃度、能障高度 、trap密度。企圖利用donor濃度與trap 密度的 觀點,來討論本實驗各種變對變阻器所造成的電特性影響。
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