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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:謝照家
研究生(外文):XIE, ZHAO-JIA
論文名稱:由無電鍍與退火成長磊晶鐵-鎳合金矽化物及其應用
論文名稱(外文):Epitaxial Fe-Ni alloy silicides from electroless deposition with annealing and their applications
指導教授:張一熙
指導教授(外文):ZHANG, YI-XI
學位類別:博士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:材料科學工程研究所
學門:工程學門
學類:材料工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1989
畢業學年度:77
語文別:中文
中文關鍵詞:合金矽化物材料科學工程材料電鍍退火
外文關鍵詞:ALLOYMATERIAL-ENGINEERINGMATERIAL
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本論文首次提出由無電鍍與退火過程,已能成功地成長磊晶鐵-鎳合金鍍膜是非晶質
結構。結合平面式與側向式電子顯微鏡,對不同階段之無電鍍膜的形成及其微結構予
以探討。對於無電鍍鐵-鎳合金之可能機構與其應用,被提出並討論。
經由兩段式真空退火後,發現鐵-鎳合金矽化物與矽基板之間有特定的方向關係存在
,即〔100〕(Fe,Ni)Si2//〔111〕Si,(033)(Fe,N
i)Si2//(002)Si和(005)(Fe,Ni)Si2//(422)
Si。間距1000埃且規則排列的界面差排佈滿整個磊晶區,有關磊晶鐵-鎳合金
矽化物的形成與其前瞻性的應用也被討論。
另外,砳晶鐵-鎳合金矽化物應用於肖基二極體之顯著特徵是提昇反向潰電壓,它可
由鐵矽化物的32伏特增加到鐵-鎳合金矽化的60伏特。本文由磊晶鐵-鎳合金矽
物的電子結構,探討反向電壓增加的特性並提出未來的展望。
QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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