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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:趙吉雄
研究生(外文):ZHAO, JI-XIONG
論文名稱:氣相化學反應(CVD)金屬鎢、炭化鎢之機能性研究
指導教授:李源弘
指導教授(外文):LI, YUAN-HONG
學位類別:碩士
校院名稱:國立臺灣大學
系所名稱:材料科學工程研究所
學門:工程學門
學類:材料工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1989
畢業學年度:77
語文別:中文
中文關鍵詞:氣相化學反應碳化複合材料反應動力學
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目的:利用層流理論來檢討氣相化學反應金屬鎢、炭化鎢的反應動力學。並以彎曲試
驗來檢測所得抗摩耗材料與基材的結合強度。
方法:本實驗採用六氟化鎢為原料,在常壓、低溫(300°∼700℃)下,於用
途極為廣泛的銅基材上,被覆鎢以及炭化鎢。
被覆層以電子稱量得其重量,並以X 光繞射分析其結構,以掃描式電子顯微鏡偏光顯
微鏡觀察其表面結晶形態,以粗糙度計量其粗糙度,以微硬度機量測其硬度值,並以
自製的彎曲檢驗輪檢測結合強度。
內容與結果:結果顯示在較位溫範圍(300°∼420℃),生長速度為化學反應
所律速。反應溫度在較高溫範圍(420°∼700℃)生長速度為質量傳輸所律速
,而吻合 Hagen-Poiseuilleeg.的層流理論。生長厚度由0∼200μm 可得良好
的控制,鎢硬度為650∼900Hv,而炭化鎢的硬度高達2400∼3500Hv。
依據反應活化能的計算,低溫範圍反應活化能為26Kcal/mol‧K,而高溫範圍為7
.5Kcal/mol‧K。鎢的成核活化能為3.3Kcal/mol‧K。炭化鎢的生長速度隨著
苯濃度增加而降低。鎢被覆隨著厚度增加,而其石礫狀結晶也有長大的現象。炭化鎢
的微結構呈現平滑的球狀組織,在抗摩耗材料上的應用此結構的性能相當優秀。
根據結合強度的檢測,經過還原氣氛,試片表面仔細準備後結合強度鎢/銅高於30
00MPa ,炭化鎢/銅高於4200MPa ,高於一般物理方法所能達到的高結合強度
,證實由此方法所得複合材料高強度,而有良好的實用性。

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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