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研究生:陳世賢
研究生(外文):CHEN,SHI-XIAN
論文名稱:矽質狹寬光偵測器之研製
指導教授:謝正雄謝正雄引用關係
指導教授(外文):XIE,ZHENG-XIONG
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:光電(科學)研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
畢業學年度:78
語文別:中文
論文頁數:53
中文關鍵詞:光偵測器濾光式半頻寬量子效率多層薄膜非晶型狹頻寬
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在使用光偵測器時,由於各類背景雜光的關係,通常須耦合一匹配之濾光器以增加信
號雜訊比。唯增加濾光片會增加反射之介面數、價格以及裝置的麻煩等問題。因此把
光偵測器與濾光器合併在同一基片上,製成一具濾光效應之偵測元件,即有相的價值
。目前在許多以LED 為光源之紅外線遙控,通訊自動對焦等用途中,強烈的背影光線
導致元件及電路的飽和及雜訊之增加,必須有一相當狹窄頻寬之濾光片,方能避免此
種問題。
本文中我們選擇矽作材料,以便作成一峰值在0.94μm 附近的濾光式光偵測器。唯矽
對吸收變化並不急劇,若利用半導體本身厚度對光之選擇性,做為濾光的依據,將產
生二項缺點:(一)半頻寬太寬,2000 左右;(二)量子效率降低。故我們利用多層薄
膜之特性,直接將此多層膜製造於光二極上,以便改善上述二項缺點。
一般而言,濾光用之多層薄膜,為達濾光之效果,通常以增加多層薄層數的方法來濾
光,唯層數太多,製作成本昂貴且費時,針對此點,若利用非晶型矽對波長8000 以
下之光子強烈吸收的特質,則層數少之多層膜結構,將有可能達到獲頻寬之功能。
在此篇文章中將介紹濾光式偵測器之基本結構及理論分析,以電腦模擬,將二氧化矽
、非晶型矽組成之多層膜系統做一探討,並與利用矽本身厚度產生之濾光效果做一比
較。依據模擬出之數據與實驗比較,結果非常吻合。

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