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研究生:張志宇
研究生(外文):ZHANG,ZHI-YU
論文名稱:釔鋇銅氧高溫超導薄膜製作及其在紅外線偵測方面之應用
論文名稱(外文):Preparation of YBa2 Cu3 O superconducting thin films and their application for infrared detection
指導教授:陳茂傑曾俊元
指導教授(外文):CHEN,MAO-JIEZENG,JUN-YUAN
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:電子研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1991
畢業學年度:78
語文別:中文
中文關鍵詞:釔鋇銅氧高溫超導紅外線偵測單靶式直流濺射鍍基板溫度光製版術化學蝕刻法熱效應
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吾人使用自製之單靶式直流濺射鍍膜系統,以38毫米直徑之YBa Cu Oy 之塊材為靶,
再將基板溫度控制在 680至 690℃之間,為了防止反濺鍍(back-scattering) 效應,
選擇成長壓力在700mTorr高壓下進行,氧氣與氬氣的流量比為一比五,所得成長速率
為0.5 埃,並將濺鍍所得之薄膜,在氧的氣氛下,經由適當的退火處理可得到臨界溫
度在89°K 的高品質 C軸方向之鏡面薄膜。此外,這些成長所得之薄膜,再以光製版
術及化學蝕刻法製成蜿蜒狀的微橋,經由波長為0.94微米之紅外線脈波照射,在脈波
頻率為20赫芝之下,可得到每單位入射功率 6.1伏特之響應,這個響應純綷是由熱效
應所造成,並未發現有超導電子對因受光破壞而造成之量子現象。經由實驗分析可知
,此種吸放熱機制用於紅外線偵測,其反應延遲約在 0.1毫秒範圍,與量子效應反應
延遲(約若干毫微秒)比較起來,似乎是慢了一些,而且如欲改進其頻率響應,基板
的選擇、薄膜的品質以及偵測器的形狀,都必須做一併的考量。在這實驗中,我們選
擇了MgO 及SrTiO 兩種基板做比較,發現有若干非正常的現象,值得特別加以討論。
本論文在此提出若干可能的原因加以解釋,希望能對此種吸放熱效應提供更深一層的
認識。

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