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研究生:陳正昇
研究生(外文):CHEN,ZHENG-SHENG
論文名稱:磁控電漿中的多重狀態及叉分行為
指導教授:伊林伊林引用關係
指導教授(外文):YI,LUN
學位類別:碩士
校院名稱:國立中央大學
系所名稱:物理與天文學研究所
學門:自然科學學門
學類:天文及太空科學學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1990
畢業學年度:78
語文別:中文
論文頁數:74
中文關鍵詞:磁控電漿多重狀態叉分行為叉分理論動力系統游離--漂移波
外文關鍵詞:BIFURCATION-THEORYDYHAMICSYSTEMIONAIZATION-DNFT-CARE
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根據叉分理論(bifurcation theory)我們可以利用一組對時間的微分方程式去描述一
個動力系統(dynamicsystem) ,而穩定狀態的解的形式則是由一組包含在數分方程式
中的控制參數(controlled parameters) 來決定。調整這些參數,我們可以讓系統從
某個狀態過渡到另外一個狀態,就稱為叉分(bifurcation) 。如果進行的叉分是屬於
suberitical bifurcation 。則系統往往會具有不連續變化以及遲滯的行為。
我們是在一個圓柱狀的磁控電漿中進行實驗。在圓柱器外,圍繞著通電流的螺線圈以
提供磁場,電子密度在沿Z 軸方向有良好的對稱性,在靠近電極處的黑暗區(darksp-
ace)內,由於電子密度的存在以及空間電荷所形成的電場以及外加磁場,使的此區產
生一個游離一漂移波(ionaization-drift wave),我們觀察這個漂移波在外界控制參
數--壓力,輸入功率改變的情錶 下,所進行的叉分現象。
起初我們先固定壓力,掃描輸入系統的射頻振幅大小( (p-p) ),將系統所反應
的離子流d.c 電壓輸入X-Yrecorder 的Y 軸,而掃描Vrf 大小的訊號輸入X 軸,在適
當的掃描範圍內,我們得到一連串的遲滯回路, 在同一回路的上邊及下邊對應著截然
不同的漂移波動,如果再從漂移波的空間上的圖樣來比較,可以確定代表不同的系統
狀態。其次,不同的壓力之下,掃描Vrf 得到不同形狀的回路,以上述最大的回路為
例,當壓力逐漸提高時產生一段中間的穩定狀態。在進入中間態之后所相對的漂移波
動,進行一系列的supercritical bifurcations。

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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