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研究生:黃裕文
研究生(外文):HUANG, YU-WEN
論文名稱:以泵-探法研究低溫分子束磊晶砷化鎵薄膜之載子動力學
論文名稱(外文):Pump-probe studies of the carrier dynamic in LT-GaAs
指導教授:潘犀靈
指導教授(外文):PAN, XI-LING
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:光電工程研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1992
畢業學年度:80
語文別:中文
論文頁數:63
中文關鍵詞:探法研究束磊晶砷化鎵薄膜載子動力學
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我們在半絕緣砷化鎵上,使用低溫分子束磊晶法成長砷化鋁與低溫砷化鎵薄,再用稀
釋的氫氟酸作選擇性蝕刻吃掉砷化鋁,藉以獲得低溫砷化鎵薄膜。在所獲得的薄膜中
,最大面積為5mm×5mm,其厚度約1um 。
我們利用激勵/探測法來研究低溫砷化鎵薄膜中自由載子的運動機制,所使用的光源
為同步起能鎖模染料雷射,其光脈衝的半高寬為0.4-0.5ps ,波長範圍在790nm-880
nm。激勵光功率是6mW ,而探測光功率是0.6mW ,由實驗數據配合理論數值分析後,
所得到的自由載子衰減常數為1.5-2.0ps。
在光導開關的非線性效應方面,我們同時用近紅外光與綠光當光源,量測元作結構是
Auston Switch (材料:低溫砷化鎵)和共平面波導(材料:半絕緣砷化鎵)。實驗
中所獲得低溫砷化鎵載子衰減常數為5.0ps ;半絕緣砷化鎵載子衰減常數為600ps 。
將此數據代入載子速率方程式,便可知光導開關對單一光脈衝的響應。

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