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研究生:劉志生
研究生(外文):LIU, SHI-SHENG
論文名稱:利用鋰離子外擴散法研製脊形波導
論文名稱(外文):Fabrication of ridge waveguide by lithium lon autdiffusion method
指導教授:王維新王維新引用關係
指導教授(外文):WANG, WEI-XIN
學位類別:博士
校院名稱:國立臺灣大學
系所名稱:電機工程研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1992
畢業學年度:80
語文別:中文
論文頁數:111
中文關鍵詞:利用鋰離子外擴散法研製脊形波導
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本論文將使用全數位化的方式替代傳統的數位類比混合式來設計速度為10.24 Mbi-
ts/sec的16-QAM調變器,並對此調變器作理論上的分析及探討。首先我們先對數位
通訊系統和16-QAM調變器的基本架構作介紹,接著我們使用全數位方式來設計16-
QAM 調變器,並對此架構作模擬,來驗證此架構的正確性。
摘要
目錄
第一章 前言
第二章 導論
2.1 積體光學之簡介
2.2 傳統光波導特性
2.3 脊型外擴散波導之產生
第三章 條載式外擴散波導
3.1 條載式外擴散波導之原理分析
3.2 數學模型推導
3.3 重疊積分數值模擬
第四章 元件製程
4.1 短時間之高溫擴散
4.2 用電子束蒸鍍氧化物
4.3 晶片研磨
4.4 晶片清洗
4.5 光製版術與圖形轉移
4.6 簡介電子束蒸鍍系統
4.7 電子束蒸鍍操作
4.8 上電極
第五章 量測與討論
5.1 量測
5.2 討論
5.3 後記
第六章 固相離子擴散法
6.1 固相離子擴散法原理
6.2 固相離子擴散法的條件推測
第七章 元件製程
第八章 量測及結果
8.1 量測
8.2 量測結果
8.3 固相離子擴散法證實
8.4 SIMS 資料論
8.5 特殊累疊層的發現
第九章 討論
9.1 現況討論
9.2 結論與未來發展
第十章 總結
表格
圖形
參考文獻
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