摘要
目錄
第一章 前言
第二章 導論
2.1 積體光學之簡介
2.2 傳統光波導特性
2.3 脊型外擴散波導之產生
第三章 條載式外擴散波導
3.1 條載式外擴散波導之原理分析
3.2 數學模型推導
3.3 重疊積分數值模擬
第四章 元件製程
4.1 短時間之高溫擴散
4.2 用電子束蒸鍍氧化物
4.3 晶片研磨
4.4 晶片清洗
4.5 光製版術與圖形轉移
4.6 簡介電子束蒸鍍系統
4.7 電子束蒸鍍操作
4.8 上電極
第五章 量測與討論
5.1 量測
5.2 討論
5.3 後記
第六章 固相離子擴散法
6.1 固相離子擴散法原理
6.2 固相離子擴散法的條件推測
第七章 元件製程
第八章 量測及結果
8.1 量測
8.2 量測結果
8.3 固相離子擴散法證實
8.4 SIMS 資料論
8.5 特殊累疊層的發現
第九章 討論
9.1 現況討論
9.2 結論與未來發展
第十章 總結
表格
圖形
參考文獻
中英名詞對照表
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