TiC、TiN、TiCN常以CVD或PVD法被覆於工具及模具表面，以提昇耐磨及切
削之性能。PECVD擁有被覆均勻及低溫蒸鍍等優勢，兼具了CVD及PVD之優
點。多層被覆則可結合各層特性，並進一步提昇耐磨性能。本研究以電漿
化學氣相沉積法於低溫低壓系統進行TiC、TiCN及TiN單層及多層備覆。本
文內容分為兩部分，第一部分藉參數變化之影響，探討TiC及TiCN之之成
長特性；第二部分則探討單層及多層被覆SKD61鋼之耐磨耗性。研究結果
顯示，500 ℃以下即可蒸鍍結晶性TiC及TiCN薄膜；TiC鍍層，其晶格常數
隨甲烷、氮氣比例變化而遷移。TiC及TiCN於PECVD系統中具呈(220)擇優
取向，基板溫度愈高此傾向愈明顯；TiCN為TiC及TiN之固溶體有近似之成
長特性。結晶性鍍層成長速率隨基板溫度上昇而增加；成長速率與放電功
率之關係則呈一具有極大值之曲線；鍍層截面呈柱狀組織；表面形態隨基
板溫度提高而有晶形出現，低放電功率時出現粒狀凸出，高 功率時表面
趨於平整。 本研究利用田口式實驗計畫法針對耐磨耗性作TiCN蒸鍍之參
數設計，所獲得之最佳參數經確認可有效改進被覆後之SKD61試件之耐磨
耗性；在近似之被覆條件，相同的鍍層厚度之下，TiCN被覆之SKD61試件
，耐磨耗性優於經TiC及TiN被覆之試件。多層被覆結合各層之特性，同時
提供更多之界面，均有助於磨耗及負荷之抵抗，不同組合之多層被覆試件
抗磨耗率均於 TiC、TiN單層被覆者。多層被覆組合之中，以TiN為頂被覆
層者有最佳之耐磨耗性，其抗磨耗率最高可達23.5。
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