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研究生:江俊德
研究生(外文):Jiunn-Der Jiang
論文名稱:有機金屬化學氣相沉積法研製大面積硫化鋅薄膜
論文名稱(外文):The Study of Large-Area ZnS Thin Films by MOCVD
指導教授:蘇炎坤蘇炎坤引用關係橫山明聰
指導教授(外文):Yan Kuin SuMeiso Yokoyama
學位類別:碩士
校院名稱:國立成功大學
系所名稱:電機工程研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1993
畢業學年度:81
語文別:英文
論文頁數:29
中文關鍵詞:薄膜電激發光有機金屬化學氣相沉積硫化鋅
外文關鍵詞:electroluminescentEL-MOCVDZnS
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為了要研製大面積的薄膜電激發光(TFEL)元件,我們以有機金屬化
學氣相沉積(MOCVD)系統成長大面積硫化鋅(ZnS)薄膜,並對
其成長條件作一系列的研究。在最佳成長條件即基板溫度225℃、成長
室壓力30Torr與H2 S對DMZ的莫耳比為20之條件成長下所得
薄膜由X光繞射分析具有強烈方向性,而且有最好的結晶品質與最平坦的
表面;半高寬低於0.175,與其他報告相較,為頗不錯的值;而我們
以EPMA量測薄膜組成,發現S╱Zn之原子比非常接近1。同樣地,
我們以最佳條件來成長13×19㎝? 大面積硫化鋅薄膜,其膜厚的均勻
性在可移動的方向上幾乎不受影響,但在不可移動的方向上卻很受影響;
我們可藉著入口噴嘴間距的調整、入口多噴嘴或複製縮小鋼盒等方式來改
進;另外雖然半高寬的變異性小於10℅,我們仍得作更一步的改善。

In order to fabricate large-area thin film electro-
luminescent( TFEL ) devices, the dependence of crystallinity on
growth conditions of the large-area ZnS thin films deposited by
the EL-MOCVD system have been studied.It was evident from X-ray
diffraction analysis the high-quality ZnS films with a strongly
preferred orientation can be grown with the optimum conditions:
the substrate temperature , the pressure of reaction chamber,
and a mole fraction of H2S to DMZ are 225℃, 30 Torr and 20.
The ZnS films have the best crystallographical quality and the
smoothest surface. In comparison to the other reports, FWHM
which have been reduced below 0.175 in this study show the
approbatory value. The atomic ratio of S/Zn evaluated by
electron probe microanalyzer( EPMA ) is very close to one. And,
the large-area ZnS thin films which have size of 13×19㎝? were
grown by the optimum growth conditions. The uniformity in film
thickness is not obviously affected in the movable direction of
the susceptor and is extremely affected in the unmovable di-
rection of that. Further improvement can be done such as the
adjustment of slits of inlet nozzle, inlet multi-nozzle or re-
production of reduced box installation. Although less than 10%
variation in FWHM was calculated, FWHM variation must be fur-
ther improved too.

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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