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研究生:楊宗儒
研究生(外文):Tzung-Zu Yang
論文名稱:液相沉積閘極絕緣層之複晶矽薄膜電晶體的低溫製作
論文名稱(外文):Fabrication of low-temperature processed polycrystalline silicon thin-film transistors using liquid-phase-deposited silicon dioxide as gate insulator
指導教授:葉清發
指導教授(外文):Ching-Fa Yeh
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:電子研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1993
畢業學年度:81
語文別:英文
論文頁數:68
中文關鍵詞:複晶矽薄膜電晶體低溫製程漏電流
外文關鍵詞:poly-Si thin film transistorlow temperature processleakage current
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利用複晶矽薄膜電晶體同時將畫素電晶體以及周邊驅動電路積體化於大面
積玻璃基座, 已是平面液晶顯示器的重要技術之一, 而低溫研製複晶矽薄
膜電晶體將是未來的技術主流.本研究群首度嘗試將室溫下液相沉積成長
的二氧化矽應用在複晶矽薄膜電晶體的閘極氧化層, 成功地建立高特性複
晶矽薄膜電晶體的低溫製程條件.為了解決複晶矽薄膜電晶體的漏電流問
題, 本文探討了漏電流的傳導機制, 並嘗試以一新的"自引發低濃度汲
極" 的結構, 與薄化複晶矽層的方法, 來改善漏電流的問題.結果顯示,
此方法所製造的複晶矽薄膜電晶體可將漏電流降至每微米通道 (channel
width) 寬小於 0.1 pA 的程度, 而開關電流比 ( ON/OFF current
ratio) 可大於十的七次方, 而且幾忽不受閘極電壓與汲極電壓的影響.

Active-matrix liquid-crystal displays (AMLCDs) with on-glass
peripheral circuits made from poly-Si TFT's are one of the most
promising technologies for full-color flat-panel display. In
this research, high performance poly-Si TFT's with liquid-
phase- deposition SiO2 as gate insulators have been
successfully fabricated by an entirely low temperature process
(< 625 C) in order to utilized large-area glass substrate. OFF-
state current mechanisms have been clarified which are helpful
to find out the accurate solution for reducing OFF-state
current. Attempts have been made to produce a self-induced
lightly-doped-drain (SI-LDD) structure and to thin the active
poly-Si films in an effort to reduce the OFF-state current. The
low leakage current (less than 0.1 pA per um of channel width)
of poly-Si TFT's with excellent ON/OFF current ratio (larger
than 7 order) independent of gate voltage and drain voltage
have been also obtained.

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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