跳到主要內容

臺灣博碩士論文加值系統

(18.97.14.87) 您好!臺灣時間:2025/02/17 13:18
字體大小: 字級放大   字級縮小   預設字形  
回查詢結果 :::

詳目顯示

我願授權國圖
: 
twitterline
研究生:蔡忠政
研究生(外文):Chung-Cheng Tsai
論文名稱:選擇性成長矽磊晶層的結構分析
論文名稱(外文):The Structure Analysis of the Selectively Grown Si Epilayers
指導教授:羅正忠羅正忠引用關係
指導教授(外文):Jen-Chung Lou
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:電子研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1993
畢業學年度:81
語文別:英文
論文頁數:20
中文關鍵詞:磊晶場氧化層二氯矽烷
外文關鍵詞:EpitaxyField oxideDichlorosilane
相關次數:
  • 被引用被引用:0
  • 點閱點閱:191
  • 評分評分:
  • 下載下載:0
  • 收藏至我的研究室書目清單書目收藏:0
選擇性成長矽磊晶層是在低壓化學汽相沉積的反應爐中來長矽磊晶膜所使
用的物質是二氯矽烷和氫氣,我們將討論晶片的準備,沉積的溫度,和二氯
矽烷的流速問題.矽磊晶表面的平整與否及磊晶的品質主要是受到沉積溫
度的影響.在九百度成長的矽磊晶層可達到光滑的表面及平整的邊緣但同
時在兩個(100)方向磊晶面的交叉部分形成(110)的切面另外在八百五十度
的矽磊晶膜也顯示無任何雜質,將沉積的時間拉長,其磊晶膜將長在場氧化
層的上面,並且有好的品質.至於八百度的矽磊晶與在預熱過程後降溫至八
百度的時間長短有關,對於短時間的降溫,我們得到的是光滑的表面和粗糙
的邊緣,否則就是得到具缺陷的表面.另外我們也討論磊晶成長速率和二氯
矽烷流速的相依性.實驗告訴我們隨著二氯矽烷流速的增加,矽磊晶成長速
率也提高了.

Low-temperature selective epitaxial growth (SEG ) of silicon
sing dichlorosilane - hydrogen mixture in an LPCVD hot-wall
reactor has been discussed with respect to the wafer
preparation, the deposition temperature, and the flow rate of
dichlorosilane. The surface morphology and the quality of Si
epilayers are highly affected by the deposition temperature.
Epilayers deposited at 900 C can always achieve specular
surface morphology and smooth edges. However, significant (110)
facets between two (100)rowth fronts are also observed.
Epilayers deposited at 850 C shows defect-free quality. Also,
high quality overgrown Si epilayers on field oxide are obtained
through extending the deposition duration. It is found that the
quality of epilayers deposited at 800 C is strongly dependent
of ramp down step in the deposition cycle. With a short
duration ramp down step, epilayers with specular surface
morphology but rough edges arebtained. Otherwise the surface is
defective with pits and/or textured structures. In addition,
the dependence between therowth rate and the flow rate of DCS
indicates that the growth of Si epitaxy increases with
increasing DCS flow rate.

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
第一頁 上一頁 下一頁 最後一頁 top