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研究生:
何文郁
研究生(外文):
Wen-Yu Her
論文名稱:
雙亞胺基鉬錯合物之合成及化學氣相沉積反應
論文名稱(外文):
Synstheses and Chemical Vapor Depositon Reaction of Bisimido lexes
指導教授:
裘性天
指導教授(外文):
Hsin-Tein Chiu
學位類別:
碩士
校院名稱:
國立交通大學
系所名稱:
應用化學系
學門:
自然科學學門
學類:
化學學類
論文種類:
學術論文
論文出版年:
1993
畢業學年度:
81
語文別:
中文
中文關鍵詞:
氮化鉬
、
化學氣相沉積法
、
多晶型薄膜
、
雙亞胺基鉬錯合物
外文關鍵詞:
molybdenumnitride
、
Chemical Vapor Deposition
、
bisimidomolybdenum
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被引用:0
點閱:116
評分:
下載:0
書目收藏:0
本實驗以Mo(tBuN)2Cl2DME為起始物,進而合成新的雙亞胺基鉬錯合物
-[MO(tBuN)2Cl2tBuNH]2,Mo(tBuN)2Cl2Et2NH,Mo(tBuN)2(tBuNH)2.並以
Mo (tBuN)2(tBuNH)2為前驅物以LPCVD沉積法沉積氮化鉬薄膜。並XRD,
WDS, Auger ESCA鑑定,最後化學氣相沉積過程中所產生的副產物以NMR,
RGA分析並推測可能的反應途徑。
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