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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:何文郁
研究生(外文):Wen-Yu Her
論文名稱:雙亞胺基鉬錯合物之合成及化學氣相沉積反應
論文名稱(外文):Synstheses and Chemical Vapor Depositon Reaction of Bisimido lexes
指導教授:裘性天
指導教授(外文):Hsin-Tein Chiu
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:應用化學系
學門:自然科學學門
學類:化學學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1993
畢業學年度:81
語文別:中文
中文關鍵詞:氮化鉬化學氣相沉積法多晶型薄膜雙亞胺基鉬錯合物
外文關鍵詞:molybdenumnitrideChemical Vapor Depositionbisimidomolybdenum
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本實驗以Mo(tBuN)2Cl2DME為起始物,進而合成新的雙亞胺基鉬錯合物
-[MO(tBuN)2Cl2tBuNH]2,Mo(tBuN)2Cl2Et2NH,Mo(tBuN)2(tBuNH)2.並以
Mo (tBuN)2(tBuNH)2為前驅物以LPCVD沉積法沉積氮化鉬薄膜。並XRD,
WDS, Auger ESCA鑑定,最後化學氣相沉積過程中所產生的副產物以NMR,
RGA分析並推測可能的反應途徑。

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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