(18.210.12.229) 您好!臺灣時間:2021/02/26 10:01
字體大小: 字級放大   字級縮小   預設字形  
回查詢結果

詳目顯示:::

我願授權國圖
: 
twitterline
研究生:孫興華
研究生(外文):SUN, XING-HUA
論文名稱:微熱電堆紅外線感測元件之模擬與分析
論文名稱(外文):Simulation and analysis of micro-thermopile infrared sensor
指導教授:謝正雄謝正雄引用關係
指導教授(外文):XIE, ZHENG-XIONG
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:光電工程研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1993
畢業學年度:81
語文別:中文
論文頁數:89
中文關鍵詞:微熱電堆紅外線感測元件
相關次數:
  • 被引用被引用:0
  • 點閱點閱:106
  • 評分評分:系統版面圖檔系統版面圖檔系統版面圖檔系統版面圖檔系統版面圖檔
  • 下載下載:0
  • 收藏至我的研究室書目清單書目收藏:0
本文的目的即在利用CMOS相容製程,並以異方蝕刻方式製作的懸浮板,研製矽微熱
電堆。元件熱電材質為複晶矽及鋁,結構設計為蜘蛛狀的放射結構,它是設計矽微
熱電堆的理想結構。文中從元件結構的設計,到元件熱傳分析,以及輸出信號的電
訊均做了深入的研究,並將理論模擬結果與其它熱電堆元件做比較。實驗主要是針
對製做此浮板結構所產生的殘餘應力現象,做定性的描述並藉三明治 (SiN/
SiO/SiN)的結構補償應力。最後結論為欲使此元件未來製作成功必需注意的
設計法則。
QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
第一頁 上一頁 下一頁 最後一頁 top
系統版面圖檔 系統版面圖檔