微熱電堆紅外線感測元件之模擬與分析__臺灣博碩士論文知識加值系統

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研究生:

孫興華

研究生(外文):

SUN, XING-HUA

論文名稱:

微熱電堆紅外線感測元件之模擬與分析

論文名稱(外文):

Simulation and analysis of micro-thermopile infrared sensor

指導教授:

謝正雄

指導教授(外文):

XIE, ZHENG-XIONG

學位類別:

碩士

校院名稱:

國立交通大學

系所名稱:

光電工程研究所

學門:

工程學門

學類:

電資工程學類

論文種類:

學術論文

論文出版年:

1993

畢業學年度:

語文別:

中文

論文頁數:

中文關鍵詞:

微熱電堆、紅外線、感測元件

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本文的目的即在利用CMOS相容製程，並以異方蝕刻方式製作的懸浮板，研製矽微熱
電堆。元件熱電材質為複晶矽及鋁，結構設計為蜘蛛狀的放射結構，它是設計矽微
熱電堆的理想結構。文中從元件結構的設計，到元件熱傳分析，以及輸出信號的電
訊均做了深入的研究，並將理論模擬結果與其它熱電堆元件做比較。實驗主要是針
對製做此浮板結構所產生的殘餘應力現象，做定性的描述並藉三明治 (SiN/
SiO/SiN)的結構補償應力。最後結論為欲使此元件未來製作成功必需注意的
設計法則。

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