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研究生:謝獻堂
研究生(外文):XIE, XIAN-TANG
論文名稱:以光調制反射光譜技術量測砷化鎵薄膜的特性及砷化鎵/砷化鎵鋁量子線的研製
論文名稱(外文):Charactization of GaAs thin films by photoreflectence technique and fabrication of GaAs/AlGaAs quantum wires
指導教授:楊賜麟
指導教授(外文):YANG, CI-LIN
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:電子物理學研究所
學門:自然科學學門
學類:物理學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1993
畢業學年度:81
語文別:中文
論文頁數:61
中文關鍵詞:光調反射光譜砷化鎵砷化鎵鋁量子線
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本論文分兩部份,第一部份,我們以光調制反射光譜(PR)量測砷化鎵薄膜的特性,這
些薄膜是以有機金屬氣象沉積術分別在不同溫度下所磊晶成長的,由於PR光譜具有三
次微分的特性,砷化鎵薄膜的細微電子結構,在室溫下亦可由PR光譜分析而得。我們
也做了低溫冷激光(PL)的測量,由PR與PL光譜的比較我們不難發現PR確實為一種檢測
半導體材料及結構強而有力的工具。第二部份,我們以簡易方法製做量子線,我們用
標準的曝光,溼化學蝕刻,及磊晶術製做陣列量子線,同時我們証實V 型槽形狀傾斜
角度科可以由多層材料的厚度加以控制調整。

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