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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:丁玉珍
研究生(外文):Yu-Jane Ding
論文名稱:以二氧化矽製造氮化矽之反應研究
指導教授:張奉文先生
指導教授(外文):Feg-Wen Chang
學位類別:碩士
校院名稱:國立中央大學
系所名稱:化學工程研究所
學門:工程學門
學類:化學工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1993
畢業學年度:81
語文別:中文
論文頁數:87
中文關鍵詞:二氧化矽碳熱還原氮化矽氮化反應
外文關鍵詞:SilicaCarbonCarbothermal ReductionSilicon NitrideNitridation
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本研究為利用碳熱還原法,以純二氧化矽和石墨為原料,將二氧化矽還原
成氮化矽,研究中使用熱重分析系統,由氮化反應前後之重量變化求二氧
化矽的轉化率,來探討各項操作變數對氮化反應的影響。本文主要探討的
因素包括:氮氣流率、C/SiO 莫耳數比、二氧化矽和石墨的粉粒大小及反
應溫度等,以期提供製備氮化矽粉末之最適條件。研究中並做各種物性分
析(X-射線繞射儀、掃描式電子顯微鏡、感應耦合電漿電子發射光譜儀、
氣相層析儀、比表面積測定儀等) 來提供各種實驗結果之佐證。實驗結果
顯示,增加氮氣流率可增加二氧化矽之轉化率,當流率大於400 ml/min時
,則影響並不明顯;其次,過量的碳可提高二氧化矽的轉化率,當C/SiO莫
耳數比大於4 時,則影響漸減;減小二氧化矽和石墨之粉粒直徑均可增加
二氧化矽的轉化率,當二氧化矽和石墨粉粒直徑小於53 um 時,則影響
不大; 升高反應溫度可明顯的促進氮化速率,提高二氧化矽的轉化率。
The preparation of silicon nitride was performed by
carbothermal reduction and nitridation of pure silicon
dioxide and graphite, and its relative weight change is
measured by a thermal gravimetric analysis (TGA) reaction
system. The purpose of this thesis is to understand the
effect of different operating variables on the degree
of conversion of silicon dioxide. Finally, we can get the
optimal condition. In this thesis, the following operating
variables have been discussed: nitrogen flow rate, silica/
graphite molar ratio, grain sizes of silicon dioxide and
graphite, and reaction temperature. The analysis of this
experiment is conducted by powder X-ray diffraction(XRD),
optical microscopy scanning electron microscopy (SEM), BET
surface area and gas chromato- graph (GC). From the experiment
data, we can make the following conclusions. The first, the
nitridation extent is increased by increasing the nitrogen
flow rate. If the nitrogen flow rate exceeds 400 ml/min, the
effect is not appreciable. The second, an excess of graphite
is required to promote the degree of conversion of silicon
dioxide, however, the effect is not appreci- able when the
molar ratio is above 4. The third, reducing the grain sizes
of silicon dioxide and gra- phite may increase the degree of
conversion of sili- con dioxide. The final, the higher
the reaction temperature the faster the reaction rate, and
the effect is quite sensitive.
QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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