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研究生:

趙炳勛

研究生(外文):

Ping-hsun Chao

論文名稱:

離子助鍍鋁膜光電性質之研究

論文名稱(外文):

Optical and electrical properties of aluminum films produced by ion assisted deposition

指導教授:

李正中

指導教授(外文):

Cheng-Chung Lin

學位類別:

碩士

校院名稱:

國立中央大學

系所名稱:

光電(科學)研究所

學門:

工程學門

學類:

電資工程學類

論文種類:

學術論文

畢業學年度:

語文別:

中文

中文關鍵詞:

離子輔助蒸鍍、離子源、鋁膜。

外文關鍵詞:

Ion assisted Deposition、Ion source、Aluminum film

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點閱:337
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本文研究以離子輔助蒸鍍技術改善光學金屬鋁膜之成長，使鋁之膜質變得
紮實，內應力減少，表面光滑，因此反射率較沒有離子助鍍為高，膜內空
隙少，耐潮性較佳。使用電子鎗蒸鍍鋁膜，比較離子助鍍的鋁膜與沒有離
子助鍍的鋁膜有什麼差異。以光譜儀量度其反射率，以積分球量散射率，
以掃瞄電子顯微鏡(SEM) 量其表面形態；以水氣試其耐潮性；並探討離
子輔助蒸鍍對薄鋁膜電阻的影響。發現離子輔助蒸鍍的確可以得到品質較
高的鋁膜。

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