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研究生:吳曉竹
研究生(外文):Wu, Shiao Chu
論文名稱:利用橢圓偏光儀決定單層薄膜之光學常數和厚度之研究
論文名稱(外文):Using Ellipsometer to Deside The Optical Constant and Thickness of Single Film
指導教授:甘烔耀
指導教授(外文):Gan Jon Yiew
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:材料科學(工程)研究所
學門:工程學門
學類:材料工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1993
畢業學年度:81
語文別:中文
中文關鍵詞:橢圓偏光儀光學常數順向求取逆向求取
外文關鍵詞:ellipsometeroptical constantforward problemreverse problem
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由於橢圓偏光儀(Ellipsometer)可以對薄膜的光學常數和厚度做非壞性
的量測,且其具有簡單、能測量小面積的試片及能夠量測多層薄的優點,
因此很早就利用來量測薄膜的光學常數及厚度。但因為目前的逆向求取的
電腦程式只能解單一變數,對於多變數之解其可信度往往受到質疑,因此
限制了橢圓偏光術的應用。本實騇中我們先利用正向求取討論於正確解附
近,當入射角度、厚度、折射率、消散係數偏離正確解時,誤差G值的變
化情形。我們知道可以藉著對入射角、厚度、折射率、消散係數的修正,
使得G的最小值為零而求得正確解,接著我們利用逆向求取的方法試圖計
算出薄膜厚度、光學常數的正確解。由於局部極小值的存在,除非我們能
夠知道厚度、折射率、消散係數其中一參數之正確值,否則無法求得三個
未知參數的正確解。但是我們由正向求取問題討論中知道可以藉由針對比
較不同厚度(折射率、消散係數)的G最小值,求得真正的最小值。入射
角度的偏差也可以用此種方法來修正,因此我們可以很準確地求得薄膜的
厚度及光學常數。
QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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