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研究生:巫康煜
研究生(外文):Wu, Kang-Yue
論文名稱:氧氣含量對TbFeCo磁光薄膜中垂直磁異向性的影響
論文名稱(外文):Influence of Oxygen on Perpendicular Anisotropy of DC Magnetron Sputtered TbFeCo Films
指導教授:趙煦
指導教授(外文):Shao, Shiuh
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:電機工程研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1993
畢業學年度:81
語文別:中文
中文關鍵詞:磁光薄膜垂直異向性
外文關鍵詞:magneto-optical filmperpendicular anisotropy
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本篇論文的目的主要是想定量地了解調變氧含量對磁光薄膜(Magneto-
optical film)垂直磁異向性的影響。由實驗上可以得知,我們所鍍製的含
氧量之磁光薄膜經由磁性量測後所呈現飽和磁化量(Ms)﹑矯頑磁 力
(Hc) 隨氧含量的增加而改變,表示我們可利用調變氧 含量來控制 Ms,Hc
的大小,而應用於磁光可擦拭光碟。本實驗的主要架構是從如何利用四極
質譜儀做定量分析氣體純度 開始, 然後再利用反應濺鍍法, 調變氧氣含
量並通入氬氣,濺鍍 製作含氧之磁光薄膜; 當樣品完成 後, 利用磁振儀
(VSM), 量子超導干涉儀(SQUID) 來測試其磁性,用薄膜厚度量測儀(
ALPHA STEP 200) 測量其厚度,並用已知質量﹑面積的標準圓形玻璃來校
準其面積,同時也介紹所使用的相關儀器設備, 包括冷凍邦浦 (Cryopump)
﹑ 射頻與直流磁控式濺鍍系統(RF & DC magnetron sputtering system)
﹑四極質譜儀﹑磁振儀﹑量子超導磁量儀﹑薄膜 厚度量測儀等之基本原
理及操作上之重要技巧與注意事項。最後將所測量的數據結果作成圖表,
定量地討論氧含量對磁薄膜垂直磁化與平行磁化的變化。本篇共分為下列
幾章:第一章為緒論,將簡單介紹磁光光碟的優點以及目前磁光光碟所使用
的材料 ; 第二章將簡介磁光光碟的讀﹑寫﹑擦原理, 磁光材料的特性;
第三章則 介紹實驗方法與量測,先介紹所使用的相關儀器設備的基本原理
及操作上應注意的事項,接著說明氣體純度的重要性,如何精密控制真空室
中氧含量,及如何利用四極質譜儀分析其純度,然後談及如何設計調變氧含
量的變化及其鍍製條件與流程,最後則是薄膜磁性與厚度量測;第四章分別
為實驗結果與討論; 第五章結論。

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