本論文探討以壓電驅動器應用在電腦硬碟機滑塊飛行高度控制之可能性。
近年來為了達到儲存高容量資料的目的，許多人嘗試了不同的方法來控制
滑塊飛行高度，即使這些方法大多遇到了需要大幅變更設計及缺乏商業產
品可靠度的困難，壓電材料仍然證明了具有較能符合我們需要的控制特性
。在本篇論文中，描述了壓電材料的特性，並把壓電材料固定在懸臂基座
作為驅動器，如此一來對硬碟機結構可得到最小的改變。懸臂的動態行為
必須包含在整個微驅動中，我們使用有限元素法軟體ANSYS分析整個壓電
微驅動機構之靜態與動態行為，最後並以實驗印證此分析結果。本論文共
分為六章，第一章為緒論，說明研究的目的。第二章為壓電材料之特性描
述，簡述壓電材料之結構與效應、壓電力學基本方程式，並介紹本論文中
分析與實驗所採用之PVDF特性資料。第三章利用有限元素分析軟體分析懸
臂的自然頻率，以了解微驅動器所驅動之機構特性。第四章為壓電微驅動
器模型的建立，模擬此壓電微驅動器之靜態與動態行為，找出理論上系統
可應用之頻寬與低頻增益，並比較不同壓電材料之驅動效果。第五章為實
驗結果，驗證了第四章所得之機構特性，並對此系統做識別，找出高頻與
低頻應用之系統轉移函數。第六章為結論，做一總結，並提出建議事項及
未來發展方向，給後續的研究者做一參考。

This research explores the possibility of using the piezo-
electric actuator in the computer hard disk drive fly height
control. As the demand reises on increased data storage
capacity, people have investigated different methods for the
hard disk fly height control. Even though most approaches face
the difficulty of too much design change and lack of
reliablility for a commercial product, the piezo-electric
material still demonstrates the most desirable characteristics
for this control. In this research, we study the
characteristics of the piezo-electric material. We mount the
actuator on the base of the suspension so that minimum change
in the disk drive configuration is required. In this case the
suspension dynamics has to be included as part of the actuator
dynamics. An ANSYS finite element model is developed for
suspension dynamics together with the piezo-electric material
behavior. The simulation includes both static and dynamic
characteristics. Experiments are then conducted to confirm the
results.