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研究生:林志勝
研究生(外文):Jyh-Sheng Lin
論文名稱:利用升電壓測試法研究閘極氧化層之因時可靠度
論文名稱(外文):Study of the Time-Dependent-Dielectric-Breakdown Characteristics of the Gate Oxides Using the Voltage-Ramping Testing Method
指導教授:鄭晃忠鄭晃忠引用關係
指導教授(外文):Huang-Chung Cheng
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:電子研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1994
畢業學年度:82
語文別:英文
論文頁數:71
中文關鍵詞:閘極氧化層崩潰升電壓測試法.
外文關鍵詞:Gate OxideBreakdownVoltage-Ramping Testing Method.
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本論文提出了一個可靠性測試方法,我們稱之為“升電壓因時可靠度測試
法”。我們利用不同的基底、介電質材料、氧化層厚度與週邊,來評估此
方法應用於量產時之可重覆性。我們假設氧化層崩潰遵守對數─常態分佈
,並且根據此假設來計算“電場加速因子”,再利用此參數來分析量測結
果,以證明此方法比定電場因時可靠度測試法更有效且快速。利用此方法
測所有的閘極介電質,都可以得到良好的重覆性。我們可以得到ONO、 薄
的SiO2以及N-Well上之SiO2有較穩定的可靠度的結論。最後,將此法所測
到的數據與定電場因時可靠度測試法的數據比較,我們發現它們是一致的
。所以本方法可以作為閘極介電質的測試方法。

The VRTDDB(Voltage-Ramping Time-Dependent-Dielectric-
Breakdown),a reliability testing method for the gate
dielectrics ,is proposed in this thesis. We used different
bulks and dielec- tric materials,oxide thickness,peripheral
conditions to evaluate the reproducibility of this testing
method while it is applied in IC mass production. Provided that
the oxide breakdown obeys the log-normal dis- tribution,the
"electric field acceleration factor" is calculated. According
to this parameter, this testing method is proved to be useful
and faster than constant-field TDDB testing method. Using this
proposed testing method, we can get high reproducibility for
all kinds of gate dielectrics. We can also conclude that ONO,
thinner SiO2 and SiO2 on N-Well have stable reliability.
Finally, we compare the data measured by VRTDDB with that by
TDDB, it is found that they are compatible. So, VRTDDB can be
use as a testing method for gate dielectrics.

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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