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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:顏貽棟
研究生(外文):Yi-Dong Yan
論文名稱:以快速退火法研製矽化鉑接觸之淺接面
論文名稱(外文):Formation of PtSi Contacted Shallow Junctions by Rapid Themal Processing Technique
指導教授:陳茂傑
指導教授(外文):Mao-Chieh Chen
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:電子研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1994
畢業學年度:82
語文別:英文
論文頁數:77
中文關鍵詞:離子佈植穿透矽化物離子佈植穿透金屬快速退火完全快速溫度製程
外文關鍵詞:ITS(implant-through-silicide)ITM(implant-through-metal)RTA(
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本論文主旨在研究以離子佈植穿透矽化物 (ITS)﹑離子佈植穿透金屬
(ITM)﹑ 及以快速退火 (RTA)方式製備之矽化鉑接觸的 p﹢n 淺接面。實
驗結果顯示此快速退火方式確實可有效地抑制硼離子的擴散,並且具備強
大的缺陷復原能力。研究結果證實用ITM/ITS 技術及750℃/40s 的快速
退火可以獲得高性能之矽化鉑接觸的p﹢n二極體﹐其接面深度70奈米及逆
向漏電流密度2 奈安/平方公分,而且以ITM 方式製成的接面特性是優於
以ITS 方式製成者。此外,本研究並以二次佈植(F﹢+ BF2﹢)法製備之淺
接面探討氟離子對接面特性的影響;我們發現前置佈植之氟離子確實可形
成非常淺的接面並改善PtSi/p﹢n的高溫穩定性。這項結果顯然是由於氟
佈植造成矽表面的非晶化,使後續的BF2﹢ 佈植中,硼離子的穿透效應減
少以及將更多的氟離子摻入矽化鉑/矽的結構中所致。另一方面,本研究
也對於完全快速溫度製程,即以快速矽化及快速退火所製備的淺接面,做
初步的探討。

This thesis studies the formation of PtSi contacted p﹢n
shallow junctions by ITS(implant-through-silicide)/ITM(
implant- through-metal) BF2﹢ implantation and rapid thermal
annealing ( RTA)technique. The experimental result shows that
RTA annealing results in less boron diffusion and powerful
implantation damage removing ability. High performance PtSi/p﹢
n diodes with a junc- tion depth of about 70nm and leakage
current density of 2nA/c㎡ can be obtained with ITS/ITM BF2﹢
implantation followed by RTA 750℃/40s annealing. It is found
that the junction characteris- tics of the diodes made by ITM
scheme are generally superior to that of the diodes made by ITS
scheme. The dual implantation ( B﹢ + BF2﹢) scheme was also
employed to investigate the effect of F﹢ pre-implantation. It
turns out that the F﹢ pre-implan- tion leads to an
ultrashallow junction with improved high-tem- perature
stability. This is apparently due to pre-amorphization of Si
surface, which reduces the channeling effect of subsequent BF2
﹢ implantation, and more effective fluorine ions incorpation
into the PtSi/Si structure. The full rapid thermal
processing( RTP), which consists of PtSi silicidation by RTP
followed by RTA annealing, was also brief investigated.

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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