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研究生:張雅俊
研究生(外文):Ya-Chun Chang
論文名稱:關止狀態下金氧半電晶體異常能帶間穿隧漏電流特性之深入研究
論文名稱(外文):Investigation of Anomalous Band-to-Band Tunneling Leakage Characteristics in Off-State MOSFET's
指導教授:陳明哲陳明哲引用關係
指導教授(外文):Ming-Jer Chen
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:電子研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1994
畢業學年度:82
語文別:英文
論文頁數:79
中文關鍵詞:關止狀態能帶間穿隧漏電流.
外文關鍵詞:Off-StateBand-to-Band TunnelingLeakage.
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過去幾年來由於金氧半產品縮小化的需要,使得金氧半元件技術演進至次
微米的境界,其不僅在氧化層方面變薄了,更進而使得閘極至汲極重疊區
域下之電場強度增強,使得金氧半元件在關止狀態時產生嚴重的能帶間穿
透,進而造成閘極引致汲極漏電流,而且將主導薄氧化層金氧半電晶體之
汲極漏電流.對於由P型通道金氧半電晶體所形成的閘控二極體,所觀察
到汲極漏電流的新型異常特性將被提出,本論文將首先提供一個考慮在閘
極至汲極重疊區域下之電子累積的新物理模型,以解決舊有的空乏近似模
型應用在實驗數據上的不確定性,並合理的重新產生此異常汲極漏電流特
性.

Owing to the necessity in scaling of MOS products for the past
few years, MOS device dimensions have been shrinked to below
one micron with oxide thickness reduced such as to cause a high
electric field in the gate-to-drain overlap region. This
increased electric field can cause seriously the band-to-band
tunneling phenomenon in off-state thin oxide MOSFET's. The gate
-induced drain leakage current (GIDL) is therefore generated,
and will dominate the drain leakage current at off-state
condition. For the submicron buried-type p-channel LDD MOSFET'
s, a new observation of the anomalous drain leakage current-
voltage characteristics measured in a gated-diode configuration
have been reported. This thesis first presents a new physical
model taking into account the electrons accumulated in the gate-
to-drain overlap region, which can eliminate the uncertainties
in determining the parameter values when applying the deep
depletion approximation theory. The measured anomalous drain
leakage current-voltage characteristics have been reasonably
reproduced based on this new model.

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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