跳到主要內容

臺灣博碩士論文加值系統

(44.200.27.215) 您好!臺灣時間:2024/04/24 17:37
字體大小: 字級放大   字級縮小   預設字形  
回查詢結果 :::

詳目顯示

我願授權國圖
: 
twitterline
研究生:何清明
研究生(外文):Ching-Ming Her
論文名稱:運送矽晶片機械手臂的最短時間路徑控制
論文名稱(外文):Minimum-Time Trajectory Control of A Semiconductor Wafer-handling Robot
指導教授:金甘平
指導教授(外文):Kan-Ping Chin
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:機械工程研究所
學門:工程學門
學類:機械工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1994
畢業學年度:82
語文別:中文
中文關鍵詞:最短時間路徑關節撓性低通濾波顫振奇點干擾法
外文關鍵詞:minimum-time trajectoryjoint flexibilitylowpass filterjerk
相關次數:
  • 被引用被引用:2
  • 點閱點閱:174
  • 評分評分:
  • 下載下載:0
  • 收藏至我的研究室書目清單書目收藏:0
在許多的高性能機械手臂系統,傳動系統、馬達電力子系統、機械手臂結
構所產生的撓性均會造成機械手臂運動時產生破壞性的振動。由於在真空
環境中運送矽晶片用的機械臂只能托著矽晶片而不可夾著矽晶片,故只能
靠矽晶片與機械臂托盤間的摩擦力來維持矽晶片在托盤上的位置,因此機
械臂的路徑加速度及控制頻寬必須受到極嚴格的限制。在本篇論文中,我
們首先設計並配製一個由六連桿組組成、運送矽晶片用的機械臂,並使用
此機械臂示範以「極速路徑」(time-opti- mal trajectory)運動時由關
節撓性所引發的一些問題。由於傳統的最 短時間路徑」(minimum time
path)產生方法只適用於二階系統模型,無法用在考慮關節撓性的高階系
統模型;若以假設撓性不存在的二次系統模型來產生「最短時間路徑」,
則機械臂運動時可能會產生振動,並使矽晶片產生位移。為了解決以上的
問題,我們利用非線性控制中的「奇點干擾法」( singular
perturbation method)先將具撓性考慮的高次系統模型簡化成零階及貳階
模型,接著用這兩個簡化模型來產生「最短時間路徑」,以此路徑作追蹤
模擬及比較其差別。此外,我們並將指令路徑以splines曲線、面積法、
正弦曲線、複立葉級數(fourier series)法,以及低通濾波(lowpass
filter)法等幾種方法加以平滑化處理,來降低路徑頻寬,以減少撓性關
節所受到的刺激與振動。由電腦模擬與實驗結果可證明上述方法的確能降
低機械臂的振動。
QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
第一頁 上一頁 下一頁 最後一頁 top