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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:黃宏達
研究生(外文):Huang, Hon Da
論文名稱:以有機金屬氣相沉積法在磷化鎵基板上生長硫硒化鋅磊晶膜
論文名稱(外文):ZnSSe epilayers grown on GaP by MOCVD
指導教授:李明逵
指導教授(外文):Lee, Ming Kwei
學位類別:碩士
校院名稱:國立中山大學
系所名稱:電機工程研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1994
畢業學年度:82
語文別:英文
論文頁數:60
中文關鍵詞:硫硒化鋅磷化鎵有機金屬氣相沉積法
外文關鍵詞:ZnSSeGaPMOCVD
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硫硒化鋅的能隙在室溫下可從2.68電子伏特的藍光範圍變化至3.68電子伏
特的紫外光範圍是很重要的短波長發光元件材料。我們成功地使用有機金
屬化學氣板相沉積法用二乙機鋅、硫化氫、硒化氫為材料源在磷化鎵基板
上成長硫硒化鋅磊晶膜。ZnSxSe1-x 當x=0.88 時晶格常數和磷化鎵匹配
其77 K光激發光譜顯示其能隙為3.3 eV,且半高寬為67.4 meV由X光繞射
圖型和光激發光譜的半高寬和強度可得知磊晶膜的品質在其組成和磷化鎵
基板匹配時較佳。磊晶膜均勻性由SIMS和AES確定。此外,我們亦探討固
相-氣相分布函數得知硒較易和鋅結合。最後,完成能隙對組成的關係圖
,算出bowing參數為0.61 eV

ZnSxSe1-x with its variation in energy gap from 2.68 to 3.68 eV
at room temperature which ranges from blue to ultraviolet
region is an attractive candidate for short wavelength light
emitting devices. However, reports on ZnSxSe1-x with wider
band- gap are scarce. In this study, ZnSxSe1-x epilayers have
been successfully grown on GaP 5 oriented [110] by metalorganic
chemical vapor deposition (MOCVD) using diethylzinc (DEZn),
hydrogen sulfur(H2S) and hydrogen selenide (H2Se).
Photoluminescence spectrum of ZnS0.88Se0.12 lattice-matched to
GaP shows a strong peak at 3.3 eV with FWHM of 67.4 meV and
negligible broadband. The quality of the epilayers was found to
be improved around the composition (x=0.88) lattice-matching to
GaP substrate. Unif- ormity of the epilayers is confirmed by
secondary ion mass spect- rometry (SIMS) and Auger electron
spectrometry (AES) In addition, solid-vapor distribution
function (SVDF) for MOCVD growth ZnSxSe1-x using DEZn, H2S, H2
Se as sources has been studied. From SVDF, Se is found to be
preferentially incorpora- ted. Finally, we plotted out the 77 K
near-band emission energy as a function of composition x. The
bowing parameter is found to be 0.61.

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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