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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:王升資
研究生(外文):WANG, SHENG TZ
論文名稱:以辛酸質子交換之鈮酸鋰表面聲波特性之研究
論文名稱(外文):Properties of SAW on Proton Exchanged LiNbO3 Using Octanoic Acid
指導教授:陳英忠
指導教授(外文):CHEN, YING CHUNG
學位類別:碩士
校院名稱:國立中山大學
系所名稱:電機工程研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1994
畢業學年度:82
語文別:中文
論文頁數:53
中文關鍵詞:表面聲波延遲線質子交換鈮酸鋰
外文關鍵詞:SURFACE ACOUSTIC WAVEDELAY LINEPROTON EXCHANGELITHIUM NIOBATE
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本論文藉由表面聲波延遲線的製作與測試, 研究辛酸質子交換對 Z軸切
面 Y 軸 傳輸鈮酸鋰(ZY LN)表面聲波特性的影響。實驗結果顯示,質子交
換使 ZY LN 延遲線之中心頻率、波速與機電耦合係數降低, 使延遲時間
與插入損失增加。退火程序除使機電耦合係數再度下降外, 有回補諸特性
的效果。利用SIMS、XRD與SEM測試, 我們也對質子交換的現象作研究與討
論。另外, 由實驗證實, 以辛酸質子交換的 ZY LN 晶片仍具備良好的表
面聲波特性, 適合製作表面聲波元件。

By the fabrication and testing of surface wave (SAW) delay line
on pure and proton-exchanged (PE) Z-cut Y-propagation LiNbO3
substrates, the influences of PE process using pure octanoic
acid on the SAW properties are investigated. Experiments show
that PE process will decrease the central frequency, SAW
velocity and electromechanical coupling coefficient of delay
line, but the delay time and insertion loss will be increased.
Annealing process can recover those properties except the
electromechanical coupling coefficient value. Besides, the
temperature coefficient of central frequency (TCF) are
investgated. By SIMS, XRD and SEM analysis, the phenomenon
caused by PE process on the substrates is discussed, too. The
experimental results show that the PE substrates still behave
good quality of SAW properties and are suitable to manufacture
acoustic devices.

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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