本研究之目的在探討振動式液靜壓拋光法(O.H.S.P.)成為一可達形狀控制
之超精密加工法的可行性。此一加工法乃是藉著液體的壓力使得刀具與工
工件分離，讓刀具與工件之間產生一層由磨漿構成的薄膜，當刀具旋轉之
後，利用磨粒於工件表面作用而造成加工。而在此加工行為之中，薄膜所
伴演的角色是使得磨粒受到流場的穩態流動而得到穩態的分布。由於磨粒
的加工能力會到負載、切線速度之影響，而磨粒所受的負載、切線速度皆
受到薄膜厚度的影響。因此，若要精確的控制加工量，必須能精確的控制
薄膜厚度。 初步的實驗結果顯示此一加工法有能力達到奈米級的鏡
面效果，並可發現加工率會隨著負載的增加而增加，然而加工率卻不一定
會隨著轉速的增加而增加。
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