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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:林文卿
研究生(外文):Wen-Ching Lin
論文名稱:鈦酸鉛薄膜感音器之研製
論文名稱(外文):The study and fabrication of the Lead Titanate Oxide thin film
指導教授:張忠誠張忠誠引用關係
指導教授(外文):Chung-Cheng Chang
學位類別:碩士
校院名稱:國立海洋大學
系所名稱:電子工程學系
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1994
畢業學年度:82
語文別:中文
論文頁數:85
中文關鍵詞:異向蝕刻射頻磁控濺射共振點頻率
外文關鍵詞:orientation-dependent etchingRF planar-magnetron sputtering
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本超音波感測器之製作,除了元件的設計與蝕刻外,研究重點還包關係。
感測器之鈦酸鉛薄膜是沉積在蝕刻過之矽薄膜上,而矽基板蝕刻是在恆溫
槽中,於 85 ℃ 下,以具有異向蝕刻特性的 KOH 溶液進行蝕積研究,試
驗各種沉積參數,包括基板材質、基板溫度、射頻功率、退火之溫度、時
間及速率,並以 χ 光繞射儀來作比較以歸納出最適宜成長高品質及結晶
性強的鈦酸鉛薄膜之濺射沉積條件。同時,為了考量元件之製造,特將鈦
酸鉛生長於 Si、Al/Si、Au/Si 材質上,所得的薄膜品質均不佳。而實驗
發現,生長在白金基板上,於 350 ℃ 時,可生長出結晶性強的鈦酸鉛薄
膜。而經過 700 ℃ 、5 分鐘退火後,結晶品質愈佳。因此,在這最佳的
條件之下所得之鈦酸鉛薄膜可用於超音波感測元件之製作。最後,測試完
成感測元件之感抗與容抗值,可以預測反共振點頻率與共振點頻率分別
為 5 MHZ與 7 MHZ,配合空氣中與水中的測試結果可證實此兩共振點的正
確性。在水中最大的接收感度在頻率 5.5 MHz 之處,強度為 -117.8dbv/
μbar; 發射感度在 7 MHz 處,強度為

The fabrication of the acoustic sensor, not only include design
and etch of samples, but research the quality of PbTiO3 thin
film and compare the sensibility of film in different ar- ea
size.Sputtering the PbTiO3 thin film on etched Si substrate ,
which was 45 ﹪ KOH etching in 85 ℃ oil oven. The rf sputt-
strate temperature、rf power、annealing temperature、annealing
time 、cooling speed , in which condition try to get the best
film on metal has no perovskite type PbTiO3, such as Si、Al/Si、
Au/Si. But on Pt substrate at 350 ℃ , could grow perovskite
better in 700 ℃ annealing 5 min . So , at the best sputtering
condition, could use the PbTiO3 thin film for acoustic sensor.
edict anti-resonant frequency and resonant frequency are 5 MHz
and 7 MHz , and to confirm the two frequency in air and water
in 5.5 Mhz;and emit sensibility is 26.5 m*μbar/dbv in 7 MHz.

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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