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研究生:鄭文雄
研究生(外文):Wen-Shon,Jen
論文名稱:積體電路製造流程之長期評估
論文名稱(外文):Long-term Evaluation of the Integrated Circuit Fabrication
指導教授:劉力劉力引用關係
指導教授(外文):Mr. Liu
學位類別:碩士
校院名稱:東海大學
系所名稱:應用數學研究所
學門:數學及統計學門
學類:數學學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1994
畢業學年度:82
語文別:中文
中文關鍵詞:積體電路流程長期評估
外文關鍵詞:integrated circuitlong-term evaluation
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台灣連續三年來積體電路的年進口額均超過石油,各界都相當重視半導體
工業。積體電路製造其相關的問題包括產品研發、製造技術改良和生產流
程的規劃。現有之規劃積體電路生產流程的技術,多著重於短期流程之控
制與評估,而長期流程方面的研究則較為罕見。 文將提出一種能夠對積
體電路製造流程作長期評估的辦法:先介紹積體電路製造相關的某些術語
,及建立流程分析之模型;之後定義所謂的製程工作量及其區間,後引進
一種新的晶圓釋放與機器的派工的法則;再解釋如何長期地模擬某實驗性
質之生產流程,從而估算有關積體電路製造流程的一些重要的測度值。
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