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研究生:林銘振
研究生(外文):Lin Ming-Chung
論文名稱:以離子輔助鍍在有機塑料上製備透明導電膜之研究
論文名稱(外文):The study of transparent conducting film on plastics by Ion-assisted deposition
指導教授:凌國基凌國基引用關係
指導教授(外文):Kow-Je Ling
學位類別:碩士
校院名稱:輔仁大學
系所名稱:物理研究所
學門:自然科學學門
學類:物理學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1995
畢業學年度:83
語文別:中文
論文頁數:66
中文關鍵詞:離子輔助鍍透明導電膜塑膠
外文關鍵詞:LADITOPlastics
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有機塑料,因易成型,可量產,重量輕等優點,但有釋氣及吸水的現象,導致
薄膜之附著性不佳.ITO(Indium Tin Oxide)則具有高穿透率及良好的導電
能力,廣泛地應用在光電元件上.本文利用本實驗室自製的雙離子源作離子
輔助蒸鍍(Ion-Assisted Deposition)及活化反應式離子披覆鍍膜(
Reactive Ion Plating)並以電子槍(E-Gun)蒸鍍ITO透明導電膜在壓克力(
PMMA)及投影片(PET)上.能以較高的蒸鍍速率約20A/S製備可見光高穿透
率,並能同時擁有不錯的導電能力,及較高的折射率 (n)及增強附著性能.
為了改善壓克力及投影片之導電能力,嘗試先在壓克力及投影片上先鍍上
一層Silicium dioxide,再鍍上ITO,實驗數據顯示,確能提升薄膜的導電能
力.
Indium Tin Oxide (ITO) films were deposited on acrylic (PMMA)
an transparent films (PET) by ion- assisted deposition (IAD)
and reactive ion plating (RIP).We used two ion sources were
made ourself for IAD and RIP.The deposition rate was 20A/S.For
improving conductivity,silicium dioxide films were deposited on
PMMA and PET first,and then ITO films were deposited, It could
the resistivity of ITO films.
QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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