(3.210.184.142) 您好!臺灣時間:2021/05/13 18:30
字體大小: 字級放大   字級縮小   預設字形  
回查詢結果

詳目顯示:::

我願授權國圖
: 
twitterline
研究生:李金樹
研究生(外文):Jin Shu Lee
論文名稱:離子輔助鍍鈦酸鋇薄膜特性之研究
論文名稱(外文):Characteristics of Barium Titanate Thin Films Fabricated by Ion- assisted Deposition Method
指導教授:凌國基凌國基引用關係
指導教授(外文):Kow-Je Ling
學位類別:碩士
校院名稱:輔仁大學
系所名稱:物理研究所
學門:自然科學學門
學類:物理學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1995
畢業學年度:83
語文別:中文
論文頁數:48
中文關鍵詞:離子輔助鍍鈦酸鋇鐵電性介電常數遲滯曲線
外文關鍵詞:IADBarium Titanateferroelectricitydielectic constanthysteresis
相關次數:
  • 被引用被引用:0
  • 點閱點閱:84
  • 評分評分:系統版面圖檔系統版面圖檔系統版面圖檔系統版面圖檔系統版面圖檔
  • 下載下載:0
  • 收藏至我的研究室書目清單書目收藏:0
我們採用離子輔助鍍法(Ion-assisted deposition;IAD),在同時應用兩部
離子源工作的情形下,來蒸鍍鈦酸鋇薄膜並探討所鍍薄膜之特性.離子源工
作電壓40-50V,在較低的蒸鍍溫度(室溫-200度C)下,所成長之薄膜為非晶
形。將試件製成MIM(metal-insulator-metal)三明治結構,進行C-V(電容
-電壓)電性及P-E(極化-電場)曲線量測.在基板不加溫的情行下,所製備之
鈦酸鋇薄膜的介電常數為61(at1kHz),將基板加溫至100度C時,所製備之薄
膜的介電常數為77(at 1kHz).P-E量測結果發現,所鍍之薄膜能呈現出鐵電
材料常見之P-E遲滯曲線關係。

A series of Barium Titanate thin films were fabricated under
different deposition conditions by ion-assisted deposition
method with two ion sources which the working voltage are
40-50V. And a lot of investigations were made to understand the
characteristics of the films. The structure of the films are
amorphous at lower deposition temperature (room temperature to
200 degree C).The ferroelectric Barium Titanate thin films were
sandwiched between ITO and Au electrodes in a metal-insulator-
metal(MIM) configuration in order to proceed C-V and P-E
measurements. The dielectric constant of the films deposited at
room temperature is 61(at 1kHz). However,it increases to 77 as
the substrate temperature increases from room temperature to
100 degree C. The results of the P-E measurement present the
typical hysteresis phenomenon for the ferroelectric materials.

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
第一頁 上一頁 下一頁 最後一頁 top
無相關期刊
 
系統版面圖檔 系統版面圖檔