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研究生:師正湘
論文名稱:半導體電性量測系統之能力評估
論文名稱(外文):Evaluation on the Capability of the Semiconductor Electrical Testing System
指導教授:陳文魁陳文魁引用關係郭幸民郭幸民引用關係
學位類別:碩士
校院名稱:義守大學
系所名稱:管理科學研究所
學門:商業及管理學門
學類:企業管理學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1995
畢業學年度:83
語文別:中文
論文頁數:68
中文關鍵詞:電性量測系統半導體
外文關鍵詞:Electrical testing systemSemiconductor
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  由於確認符合規格後的產品才交付給顧客是工業界至上的圭臬,所以量測系統對市場經濟的貢獻居功厥偉。對量測系統的能力區分,傳統上都依賴工程技術來遂行,並以最小刻度的微細程度代表儀錶的精度或準度。因此,制程能力、量測能力和出貨規格三者共同主宰了產品的品質。美國汽車工業習用的MSE(Measurement System Evaluation) 方法,是乙套採用統計學原理的量測系統評估程序,這種制式的用表方法給予業界對量測系統自行評估的能力。由於MSE方法的遂行十分簡易,它業已從汽車產業廣泛推廣到其他產業。
  利用MSE方法,吾人可將產品品質的總變異分解成制程變異、人員間變異和設備內變異三部份,其中人員間變異和設備內變異慣稱量規(gage)的同現度(reproducibility)和重現度(repeatability),簡稱Gage R&R。其實,Gage R&R就是儀錶精度的完整內涵,若按規格的百分公差來區分等級,在儀錶管理方面,就可以找到明確的依據。
  對物性的量測,MSE的方法尚稱實用,但應用到電性的環境時就十分困難,主要是因為電性儀錶的多規本質。半導體的電性量測系統在執行量測程式時,會按受測物件電性數值的範圍自動命令某恰當的量規進行實際的量測工作。由於同一電性其數值範圍可以從千分數到百位數,但工程規格卻通常係採數值的百分比來規範,以致按百分公差評估多規量測系統時,就會處處扞格了。
  本論文針對多量規的特性,為半導體電性量測系統,設計出乙套制式的用表評估程序,它可以協助業界分辨電性量規的個別量測能力,以及同一電性的總體量測能力。當半導體業界能掌握本身各套電性量測系統的能力後,始可進行有效的改善以及落實量測的管理。
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