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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:沈嘉男
研究生(外文):Jia Nan Shen
論文名稱:具超晶格緩衝層金屬半導體-場效電晶體設計與製作
論文名稱(外文):Design and fabraction of metal-semiconductor field effect tran sistor with superlattice buffer layer
指導教授:李清庭
指導教授(外文):Ching Ting Lee
學位類別:碩士
校院名稱:國立中央大學
系所名稱:光電(科學)研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1995
畢業學年度:83
語文別:中文
中文關鍵詞:超晶格緩衝層
外文關鍵詞:superlatticebuffer layer
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為了減少元件彼此間的寄生作用與改善基板的磊晶品質對元件特性的影響
,各種形式的緩衝層已經廣泛地被研究。根據文獻結果,砷化鋁鎵/砷化
鎵超晶格之緩衝層被證實具有改善磊晶品質及提昇元件特性之功能。由於
多重量子位障結構(multi-quantum barrier) 亦屬超晶格結構卻可提昇位
障值,因此;我們認為以多重量子位障作為場效電晶體之緩衝層,除了具
有超晶格緩衝層之優點外,其增加之位障高可以更有效地將電子載子侷限
在通道內,降低元件間彼此的交互作用。  本論文主要探討多重量子位
障結構在緩衝層上的應用,利用增加緩衝層之位障高,研究其對降低經由
緩衝層之漏電流的影響。另外,製作具多重量子位障結構緩衝層與一般異
質結構緩衝層之金屬-半導體場效電晶體,並比較其元件特性。

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