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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:楊萬成
研究生(外文):Yang, Wang-Cheng
論文名稱:直流濺鍍法製備鐵-氧多層膜之性質研究
論文名稱(外文):The properities of DC-sputter Iron-oxide multilayer
指導教授:金重勳金重勳引用關係
指導教授(外文):Chin,Tsung-Shune
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:材料科學(工程)研究所
學門:工程學門
學類:材料工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1995
畢業學年度:83
語文別:中文
中文關鍵詞:抗磁力飽和磁化量
外文關鍵詞:coercivitysaturation magnetization
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對於gamma-氧化鐵的飽和磁化低的缺點, 為增加其飽和磁化又不喪失其矯
頑磁力(Hc), 因此考慮將Fe3O4中間加上Fe 。本實驗室利用直流磁控濺
鍍法製作Fe3O4/Fe/Fe3O4薄膜及alfa Fe2O3/Fe/alfa Fe2O3薄膜. 並進行
大氣及真空下的360C 1.5hr之熱處理. 探討在不同情形下的磁性行為及相
組成. 在Fe3O4/Fe/Fe3O4方面, 鐵的確提高了飽和磁化量卻降低了抗磁
力. 初鍍的抗磁力從354 Oe下降至74Oe ;最大磁化量自254 emu/cc增加
成392 emu/cc. 在大氣熱處理後, 鐵層會氧化成gamma Fe2O3, 抗磁力平
均在550Oe上下, 最大磁化量也在250 emu/cc左右 。 Alfa Fe2O3/Fe/
alfa Fe2O3初鍍膜的抗磁力都小於 100 Oe, 最大磁化量隨鐵增加而自92
到846 emu/cc. 而 alfa Fe2O3/Fe/alfa Fe2O3熱處理後會出現gamma Fe2
O3,抗磁力在800∼1080 Oe間, 最大磁化量約123∼210emu/cc . 在真空下
會使得中間層鐵部份氧化成gamma Fe2O3相,抗磁力與最大磁化量都較初鍍
膜高. 鐵對於alfa Fe2O3/ Fe/alfa Fe2O3的磁滯曲線有不同程度的影
響. 對於只有兩層的Fe/alfa Fe2O3,性質都比三層的要來的差, 可以證實
底層alfa Fe2O3的影響 。

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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