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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:常挽瀾
研究生(外文):Chang, Wan-Lan
論文名稱:射頻電漿化學氣相沉積碳-氮薄膜之鑑定與分析
論文名稱(外文):The Characterization and Analysis of Radio-Frequency Plasma- Ehanced Chemical Vapor Deposited C-N Film
指導教授:何主亮何主亮引用關係
指導教授(外文):J. L. He
學位類別:碩士
校院名稱:逢甲大學
系所名稱:材料科學研究所
學門:工程學門
學類:材料工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1996
畢業學年度:84
語文別:中文
論文頁數:103
中文關鍵詞:氮化碳電漿化學氣相沉積法上電極材料
外文關鍵詞:BETA C3N4RF PECVDTOP ELECTRODE MATERIAL
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氮化碳具備高強度,高硬度,高分解溫度,高熱傳導率,低質量密度.本研究
利用射頻電漿化學氣相沉積法使用N2,CH4,H2做為反應氣體來置備氮化碳,
於玻璃,矽晶片及高速鋼基材上,並將金屬摻入鍍膜中,探討其對氮化碳鍍
膜之微觀結構,機械性質,磨耗特性等性質,利用SEM,TEM,XRD,XPS,FTIR及
Raman探討鍍膜微觀結構,結晶性,分子結構及化學鍵結.利用微硬度計測量
鍍膜硬度,磨耗試驗,表面粗度儀及光學顯微鏡探討其磨耗行為.以石墨,不
鏽鋼,鉻及中碳鋼做為上電極材料,前二者可在高氮氣分率下所得度膜中發
現氮化碳微晶,氮氣分率扮演濺射原子的角色,將上電極材料濺射出來混入
鍍膜中.使鍍膜中金屬元素隨氮氣分率增加而增加,同時金屬元素捕獲氧原
子的機會增加,使鍍膜中氧元素濃度增?[並與氧形成金屬氧化物,如此有
助於c=c及c=n鍵的形成,氧化物與氮化碳共存,使高氮氣分率所得鍍膜之微
觀形?出現柱狀組織孔隙及表面微顆粒,不鏽鋼上電極,於低氮氣分率下製
備之鍍膜之截面形態呈玻璃狀,及高氮氣分率製備之鍍膜含氮化碳微晶,故
顯現出高硬度值,鉻電極製備之鍍膜含有氮化鉻故較高硬渡,石墨上電極製
備之鍍膜因鍍膜石墨化程度較高故硬度值不高不鏽鋼上電極於低氮氣分率
下製備之鍍膜因截面形態呈玻璃狀表面平滑故具有低磨擦係數高氮氣分率
時鍍膜中晶粒憎大及表面粗度增加故磨擦係數增加鉻上電極製備之鍍膜因
含碳化鉻使得磨擦係數居高不下中碳鋼上電極於低氮氣分率下製備之鍍膜
較為非晶質化表面較圍平滑故使得磨擦係數覺低高氮氣分率時氧化鐵產生
故磨擦疵Y數增加石墨上電極

In this study amorphous carbon nitride films were prepared by
usinga capactively coupled r.f. plasma enhance chemical vapor
depositionprocess starting N2-CH4-H2 gas mixture. Films were
deposited on glass, silicon wafer and HSS substrates. The main
depoition parameters investigated wereN2 gas fraction, and r.f.
electrode materials. The films deposited were examined by using
scanning electron microscpy (SEM), transmission electron
microscope (TEM), X-ray diffractmeter (XRD), Fourier transform
infrared (FTIR), Ramanspectroscopy and X-ray photoelectron
spectroscope (XPS) to reveal the effect of depositionparameters
on microstructure . Microhardness measurement were performee . A
ball-on-disk wear test and profilemeter were carrier out to
investigated the tribobehavior.

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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