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研究生:周景弘
研究生(外文):Jing Hong Zhou
論文名稱:單晶碳化矽/單晶矽複層異質接面光檢測器之研製
論文名稱(外文):A Study of -SiC/Si Multilayer Heterojunction structures for Photodetector Applications
指導教授:方炎坤方炎坤引用關係
指導教授(外文):Yean Kaun Fang
學位類別:碩士
校院名稱:國立成功大學
系所名稱:電機工程研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1996
畢業學年度:84
語文別:中文
論文頁數:9
中文關鍵詞:累崩光二極體異質接面
外文關鍵詞:PIN avalanch photodetectorheterojunction
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本論文以快速升溫化學氣相沈積法在矽基板上成長單晶碳化矽/單晶矽複
層異質接面結構光檢測器。我們提出三種結構:(1)雙異質接面結構 (n+-
Si/i-SiC/p+-Si)、(2)單異質接面結構 (n+-SiC/i-SiC/p+-Si)、 (3)同
質接面結構 (n+-SiC/i-SiC/p+-SiC)。分別測量及分析這三種元件之光增
益、光頻譜響應及響應速度等光電特性,以驗證其在光電元件應用之適用
度。從實驗結果吾人發現,在元件結構中介於碳化矽與矽之間的介面缺陷
對元件特性之影響甚巨,若能更進一步控制漸變層之厚度與品質以改善介
面缺陷,則光檢測器之特性將可提昇。

In this thesis, single-crystal SiC / single-crystal Si
ultilayer heterojunction photodetectors were fabricatedn
Si substrates by rapid thermal chemical
vaporeposition (RTCVD) method. Three different devices'
tructures were proposed, that is , (1) double-
eterojunction (n+-Si/i-SiC/p+Si), (2) single-
eterojunction (n+-SiC/i-SiC/p+-Si) and (3)
homojunctiontructure. The optoelectronic characteristics of
devicesnclude optical gain, responsivity and response speed
wereeasured and analyzed to check the suitability for
thepplications in optoelectronic devices.Based on
thexperimental results, we find that, among the
threeifferent structures, the photodetector with
homojunctiontructure possesses the best
optoelectronicharacteristics. Its dark current is 25A(
under 15.4Veversed bias), and optical gain is 96.6(under 5W
incidentptical power) .The peak value of absorption wavelength
inpectrum response is 480nm. The response speed is 9.5s forise
time and 11.0s for fall time.

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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