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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:曲崇銘
研究生(外文):Chu, Chung Ming
論文名稱:氮化鎵蕭基二極體電性研究
論文名稱(外文):Electrical Measurements of Schottky Diodes on GaN
指導教授:李威儀李威儀引用關係
指導教授(外文):Wei-I Lee
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:電子物理學系
學門:自然科學學門
學類:物理學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1996
畢業學年度:84
語文別:中文
論文頁數:107
中文關鍵詞:蕭基二極體氮化鎵暫態電容量測缺陷有機金屬氣相磊晶法五/三比
外文關鍵詞:Schottky DiodeGaNTransient Capacitance MeasurementTrapMOCVDV/III ratio
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本文是以不同的量測方法研究利用有機金屬氣相磊晶法
成長氮化鎵薄膜 所製成蕭基二極體之電性。利用電流-電壓量測得知電
流傳導機制是由熱場發射電流所主宰(五/三比愈高愈明顯),順偏穿遂電
流發生原因為表面區域離子化粒子濃度很高。逆偏時,逆偏大為直接穿遂
蕭基能障高 ;逆偏小時則藉由缺陷穿遂較小的能障。 電容-
偏壓量測得知五/三比愈小,氮空位增多,載子濃度變多,因此串聯電阻
變小,電容變大。蕭基能障高 在低溫時比理論值0.84eV高出許多,且隨
溫度升高而變小。以深能階暫態電容量測分析,結果顯示E2缺陷可能為
NGa造成,E3缺陷可能為OGa造成。另外發現一個新的缺陷E4,其形成原因
需再做進一步觀察確認。



In this study, several measurement techniques
were used to analyze the electric characteristics and traps
in unintentionally doped n-type GaN grown by metal organic
chemical vapor deposition.I-V measurements on Schottky diodes
indicates the forward current appears due to thermionic field
emission of electrons through the Schottky barrier, because
there are high trap concentrations near the surface region. On
the other hand, the electrons tunnel through the Schottky
barrier at large reverse voltage, and through a smaller barrier
by the assistance of a trap E2 at small reverse voltage. C-V
measurements indicate the smaller V/III ratios, the larger
carrier concentrations because of the increase of nitrogen
vacancies. Therefore,the series resistance becomes smaller and
capacitance larger. Schottky barrier height is much larger than
the theoretical value of 0.84eV at low temperature, and is
smaller at high temperature. Studies by transient capacitance
measurements revealed the presence of a new majority-carrier
trap with the activation energy of 1.34eV.

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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