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本研究利用深能階暫態量測系統研究分析氧化鋅變阻器之缺陷,量測 到三個多數載子缺陷分別定義為L1,L2,L3以及一個少數載子缺陷定義為Y. L1,L2之活化能分別是0.13eV及0.23eV,在不同添加物系統中皆穩定存在, 推論可能和氧空缺有關,應屬於本質單能階塊材缺陷.L3之活化能介於0.5 ∼ 0.75 eV之間,缺陷能接受燒結溫度及添加劑之影響,劣化之後缺陷濃度 亦有明顯的變化,屬於本質介面缺陷.Y缺陷之活化能介於0.9 ∼ 1.1 eV之 間,缺陷也受燒結環境及劣化之影響,應屬於本質介面缺陷並趨近於單能階 缺陷,而且可能與鋅空位有關連.
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