(18.232.55.103) 您好!臺灣時間:2021/04/23 01:46
字體大小: 字級放大   字級縮小   預設字形  
回查詢結果

詳目顯示:::

我願授權國圖
: 
twitterline
研究生:蔣敏雄
研究生(外文):Chiang, Min-Hsiung
論文名稱:X光光罩多矽氮化矽鼓膜及吸收劑之研究
論文名稱(外文):Development of silicon-rich nitride membrane and absorber for x- ray mask
指導教授:蘇翔蘇翔引用關係
指導教授(外文):Su Shyang
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:電子研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1996
畢業學年度:84
語文別:中文
論文頁數:52
中文關鍵詞:多矽氮化矽鼓膜抗反射層吸收劑鍍金
外文關鍵詞:silicon-rich nitridemembraneanti-reflective coatingabsorbertungstengold plating
相關次數:
  • 被引用被引用:0
  • 點閱點閱:125
  • 評分評分:系統版面圖檔系統版面圖檔系統版面圖檔系統版面圖檔系統版面圖檔
  • 下載下載:0
  • 收藏至我的研究室書目清單書目收藏:0
本文主旨在研製X光微影技術中所需之X光光罩,其以多矽氮化矽為鼓膜
並選擇鎢及金為X光之吸收劑材料。為了提高步進機在光罩與晶圓間之對
準能力,必需改善鼓膜之穿透率,為此,我們調整低壓化學氣相沉積系統
沉積鼓膜時之條件,並在鼓膜上覆蓋一層抗反射層,藉由這兩種方法可使
鼓膜之穿透率獲得明顯改善。另一方面,為了避免鼓膜在實驗過程中因吸
收劑應力過大而破裂,我們歸納出最合適之濺鍍條件,使吸收劑具有很小
之應力及應力變化。此外,本研究已建立X光光罩之完整製程,並且能使
低張力、高穿透率鼓膜之面積達到 6cm × 6cm 。

This thesis presents the fabrication and experimental results of
x-ray mask inx-ray lithography. The silicon-rich nitride is used
as membrane and tungsten and gold are studied as absorbers. In
order to increase the ability of opticalalignment between mask
and wafer in the SR stepper, it is necessary to improvethe
transmittance of membrane. For this reason,recipe of low-
pressure chemicalvapor deposition (LPCVD) system for membrane
deposition was constructured and deposition of anti-reflective
coating (ARC) on membrane was also performed. Onthe other hand,
the suitable recipes of sputtering with low-stress absorber
were adopted to avoid ruinning the membrane during experiments.
In this resea-rch, the process procedure of x-ray mask was
accomplished and 6cm*6cm membranewith low tensile stress and
optical transmittance up to square was available.

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
第一頁 上一頁 下一頁 最後一頁 top
系統版面圖檔 系統版面圖檔