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研究生:吳明發
研究生(外文):Ming-Fa Wu
論文名稱:熱動式橫向位移複晶矽制動器
論文名稱(外文):Thermally Driven Polysilicon Actuators for Lateral Displacement
指導教授:徐文祥徐文祥引用關係
指導教授(外文):Wensyang Hsu
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:機械工程研究所
學門:工程學門
學類:機械工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1996
畢業學年度:84
語文別:英文
論文頁數:40
中文關鍵詞:熱動式制動器橫向位移
外文關鍵詞:Thermally drivenActuatorLateral displacement
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本篇在提出一熱動式橫向位移複晶矽制動器,其原理乃利用電流流經結構
體,產生電阻性功率消耗,用以加熱結構以產生熱應變,再經由兩種位移放
大機構,將熱應變放大。在結構模擬方面,本篇利用簡單力學理論,用以模
擬結構靜態行為,並與實驗量測做比較,獲得良好結果。在測試方面,元件
在常壓下,加4.2伏特的驅動電壓,能輸出8微米位移,且其最大輸出力
為3.3*10^ -6N。

A novel one-mask polysilicon actuators driven by thermal is
developed, modeled and tested. The structure is heated current
due to resistive dissipation. Thermal strain is induced is
magnified by two mechanical mechanisms - lever and The device
is texted in air and has a lateral 8um-displacement by applying
a 4.2V dc bias. The simulation results are shown to with
experimental data well. The maximum output force is with a
built-in cantilever beam and is calculated to be about 10^-6N.

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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