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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:龍嘉美
研究生(外文):Chia Mei Lung
論文名稱:透明導電膜特性之研究
論文名稱(外文):The Characterization Study of Transparent Conducting Films
指導教授:陳培麗
指導教授(外文):Pei-Li Chen
學位類別:碩士
校院名稱:國立中央大學
系所名稱:光電(科學)研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1996
畢業學年度:84
語文別:中文
中文關鍵詞:透明導電膜氧化錫
外文關鍵詞:Transparent conducting filmsTin Oxide (SnO2)
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本研究採用自行設計組裝的管狀高週波電感耦合電漿輔助化學氣相沈積系
統,以四甲基錫與氧氣的混合氣體為原料,在玻璃基板上合成氧化錫透明
導電膜。研究著重於探討系統壓力、輸入氣體組成及高週波輸入功率等參
數對薄膜特性的影響。當氧氣分壓和四甲基錫分壓之比值小於等於 1 /
6,可在距原料出口 5到25公分處,沈積出金屬錫薄膜;當比值大於等於
1 / 3,反應腔中已有透明的薄膜沉積在基板上。由實驗中發現,薄膜中
Sn-Sn 的含量愈多則膜的導電度愈好,若膜中SnO2的含量愈多則膜的透光
性愈佳,因此本實驗的目的即是在改變系統的操作參數,調整薄膜中
SnO2/Sn-Sn 的比值,以得到透明導電膜。

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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