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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:趙國梁
研究生(外文):Kou Liang Jaw
論文名稱:非合金化歐姆接面的製作與分析
論文名稱(外文):Fabrication and analysis of nonalloyed ohmic contacts
指導教授:李清庭
指導教授(外文):Ching Ting Lee
學位類別:碩士
校院名稱:國立中央大學
系所名稱:光電(科學)研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1996
畢業學年度:84
語文別:中文
中文關鍵詞:非合金化歐姆接面砷化鎵砷化銦
外文關鍵詞:nonalloyedohmic contactGaAsInAs
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本文的目標在製作低特定接觸電阻值之非合金化歐姆接面。因為用傳統製
作歐姆接面的方法-熱合金化法,所製成之歐姆接面,在某些方面有其難
以避免之缺點。為改善這些缺點。於是,發展非合金化的歐姆製程方法。
利用分子束磊晶的技術成長我們所需要的磊晶結構 (在此以砷化銦為半導
體之表層材料,成長三種磊晶結構) ,蒸鍍數組金屬組合,以比較其差異
,並利用傳輸線模型計算其特定接觸電阻值。另外,為暸解接面的穩定性
。在此對接面做熱處理,測量其電特性。以修正之傳輸線模型計算其特定
接觸電阻值。對接面因熱處理而產生之變化。我們以歐傑電子能譜儀、拉
塞福迴向散射儀,觀察其元素分佈的變化。實驗結果顯示,砷化銦這種材
料蒸鍍金屬功函數5.65eV以下者,都能得到很好的歐姆特性。充分顯示此
種材料的優點。而於熱穩定性方面,以鍍鈦 /鉑/金此組金屬層之表現最
佳。

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