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研究生:楊晉坤
研究生(外文):Jin Kung Yang
論文名稱:100kHz級與150kHz級共振放電激發二氧化碳雷射之比較
論文名稱(外文):Comparison of a CO2 Laser Excited by 100 kHz and 150 kHz AC Discharge
指導教授:劉海北
指導教授(外文):Hai Pei Liu
學位類別:碩士
校院名稱:國立中央大學
系所名稱:光電(科學)研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1996
畢業學年度:84
語文別:中文
中文關鍵詞:電容性耦合放電共振放電共振頻率快速軸流
外文關鍵詞:capacitively coupled dischargeresonant dischargeresonant
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本論文主要在討論將激發雷射的電源頻率由102 kHz(100 kHz級)提高
至148.8 kHz(150 kHz 級)後,二氧化碳雷射輸出功率及輸出效率有何變
化. 在提升共振頻率的過程中, 我們使用了調整變壓器二次側漏電感的方
法完成了放電頻率100 kHz 級和150 kHz級的電源供應器,並將之應用在我
們的快速軸流二氧化碳雷射系統. 這種以二次側並聯共振放電的方式來激
發二氧化碳雷射, 其優點是在電源的高壓輸出端不需加入任何電子元件,
所以可以降低成本以及增加零件的壽命. 由實驗的結果我們得到氣體的最
佳混氣比例為CO2:N2:He=1:17:2, 在100 kHz 級的放電頻率下, 雷射輸出
功率可達233 瓦, 輸出效率為9% ;而在100 kHz 級的放電頻率下, 雷射輸
出功率可達249 瓦, 輸出效率為11.4%.另外, 在無氦氣的混氣比例CO2:
N2:He=1:17:0下, 於100 kHz 級的放電頻率可得到最佳混氣比例的90% 功
率輸出; 而於150 kHz 級的放電頻率亦可得到最佳混氣比例的84% 功率輸
出. 最後, 我們改變二氧化碳雷射系統的工作條件, 分別在不同反射率,
不同工作氣壓以及不同電極形狀的工作條件下 , 得到在兩種共振放電頻
率下的實驗數據. 而由這些實驗數據來討論提升共振放電頻率對於輸出結
果之影響.

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